판매용 중고 SEMITOOL SST-C-621-270 #9177160

SEMITOOL SST-C-621-270은 반도체 응용 분야를 위해 개발 된 포토 esist 장비입니다. 그것 은 "와퍼 '와 함께" 포토레지스트' 를 처리 하는 데 포함 되는 매우 다양 한 공정 흐름 에 사용 하도록 설계 되었다. 이 시스템은 높은 프로세스 반복성, 높은 처리량, 신뢰성, 낮은 유지 관리 요구 사항을 제공합니다. 이 장치는 정확하고 정확한 유량 제어를 제공하는 621 채널 전기 제어 가능한 분배 매니 폴드로 구성됩니다. 이를 통해 웨이퍼 표면에 전달 된 화학 물질의 엄격한 프로세스 제어가 가능합니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 화학 물질을 기계로 대량 운송하기 위해 웨이퍼와 단일 피스 쿼츠 보트를 동시에 적재 할 수 있습니다. 이 도구에는 이중 온도 제어 모듈 (Dual Temperature Control Module) 이 장착되어 있어 포토레스 (Photoresist) 솔루션의 정확한 온도 조절이 가능하며 프로세스의 변동을 최소화합니다. 에셋은 또한 스핀 코팅, 소프트 베이크 (pre-soft bake) 및 포스트 개발 (post-development) 을 포함하여 정밀 프로세스를 수행하기 위해 안정적인 플랫폼을 제공하는 270 위치 스핀 척을 갖추고 있습니다. 진공 척 위에 위치한 UV 램프는 photoresist 층을 빠르게 건조시키는 데 사용됩니다. 안전을 위해, 이 모델에는 유해 공기 입자의 방출을 제어하기위한 비상 오프 (Emergency Off, EO) 및 온보드 배기 장비가 포함됩니다. 마지막으로, SST-C-621-270에는 GUI (Graphical User Interface) 가 있어 사용자가 시스템을 보고 제어할 수 있습니다. GUI 는 장치를 쉽게 작동시킬 수 있게 해 주며, 사용자는 시스템을 신속하게 설치, 모니터링하여 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 결론적으로, SEMITOOL SST-C-621-270은 매우 효율적이고, 안정적이며, 사용자 친화적 인 포토 esist 도구로서 포토 esist와의 웨이퍼를 정확하고 정확하게 처리 할 수 있습니다.