판매용 중고 SEMITOOL SST-C-421-280 #293813036
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SEMITOOL SST-C-421-280은 차세대 반도체, 고급 디스플레이 및 집적 회로 제조의 높은 해상도 및 더 높은 기능 밀도에 대한 수요를 처리하기 위해 제작 된 Photoresist Equipment입니다. 이 시스템에는 Teradyne의 AOI (Automated Optical Inspection) 시스템과 완전히 호환되는 고급 광학 패키지가 있습니다. 오늘날 매우 작은 인쇄 회로 기판의 photomask, resist 및 interconnection 계층에서 매우 미세한 해상도를 정확하게 노출하고 개발하도록 설계되었습니다. SEMITOOL SSTC421280 은 웨퍼 (Wafer) 정렬 및 포지셔닝을 지원하는 비버터블 (Invertitable) 옵티컬 열을 자랑하며, 탁월한 처리량을 제공하는 반복 가능한 초고성능을 제공합니다. 전기없는 도금 (EP) 을 적용하면 전도성이 향상되고 수율이 향상됩니다. 고급 옵틱 (Optics) 패키지는 정렬이 잘못되고 반복 가능한 높은 처리량 스캐닝 없이 초점 조정이 매우 정확합니다. 4 루프 옵티컬 유닛은 가장자리 왜곡 및 오류 이미지 형성을 수정하여 포토레스 (photoresist) 이미지의 품질을 저하시킬 수있는 오류를 제거합니다. 통합 모터 구동 셔터 머신 (Integrated Motor-Driven Shutter Machine) 은 정확한 사양에 노출 시간을 줄이고 가벼운 산란을 제거하므로 높은 해상도의 기능을 생산하는 데 도움이됩니다. SST C-421-280에는 단일 또는 이중 설비 툴링의 프로세스 트레이 선택이 장착되어 있습니다. 공정 구성 배열 (array of process configuration) 은 고밀도 기판과 저밀도 기판을 정확하게 통합 할 수있는 반면, 대형 로봇 용량은 두꺼운 필름과 박막 저항층 모두를 수용 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 오염 물질과 먼지 입자를 제거하는 내장 공기 여과 도구 (Bist-in Air Filtration Tool) 를 통해 패턴 선명도와 피쳐 정의를 더욱 향상시킵니다. 고진공 챔버 (High Vacuum Chamber) 는 가공 주기 동안 필요한 고품질 기판 및 저항이 유지되도록 함으로써 공정 드리프트 (process drift) 를 줄이고 효율적인 작동을 촉진합니다. 고급 옵틱 패키지, 인상적인 모터 구동 셔터 자산 및 다양한 프로세스 트레이 선택을 통해, SST-C-421-280은 점점 더 까다로워지는 제조 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. 그 효율적 인 운영 과 우수 한 성능 으로 인하여, 앞서가려고 하는 "제조업체 '들 에게는 완전 한 선택 이 된다.
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