판매용 중고 SEMITOOL SST-C-421-280 #293747945

SEMITOOL SST-C-421-280은 반도체 업계의 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 콜드 플레이트 모듈 (Cold Plate Module), 등각 냉각 (Conformal Cooling) 및 열 감지 기술을 사용하여 매우 정밀하고 안정적인 표면 저항 레이어를 제공합니다. 냉판 (cold plate) 모듈은 처리 중에 냉장 냉각제를 기판 바로 위에 순환시키고, 면적을 균일하게 유지하며, 일관된 포토 esist 레이어를 보장함으로써 작동합니다. 이 장치는 최고 압력에서 최대 10.5 SFM/min의 고정 압력과 28.1 CPI (인치당 접점) 를 허용합니다. 등각 냉각은 광저항 표면 층의 균일성을 증가시켜 공정의 속도와 정확도를 증가시킵니다. 이 기술은 더 나은 짝수, 빠른 처리 시간 (turnaround time) 을 고려하여 기판의 형태를 취합니다. 기계에 열 감지 설정 (thermal sensing setup) 이 장착되어 있어 사용자가 기판의 표면 온도를 완벽하게 제어 할 수 있습니다. 그것은 ± 0.1 ° C 정확도와 0.01 ° C의 해상도를 가지고 있으며, 모든 응용에 더 정밀하고 예측 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구의 다른 기능으로는 직관적인 아이콘이있는 사용자 친화적 인 소프트웨어, 최대 244 L의 조정 가능한 탱크 용량, 내장 E-Beam 플레이트 프리 린스 (Prinse) 및 포스트 린스 (Post-Rinse) 단계가 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 사용자에게 프로세스 이상을 경고하고, 모든 프로세스 매개변수에 대한 실시간 보고서를 제공하면서 언제든지 탱크 설정 (tank settings) 을 수정할 수 있도록 합니다. 전체적으로 SEMITOOL SSTC421280 포토레시스트 (photoresist) 자산은 고성능, 규정 준수, 뛰어난 균일성을 제공하여 반도체 및 장치 제조 어플리케이션에 도전하는 데 이상적인 솔루션입니다.