판매용 중고 SEMITOOL SST-C-321-280 #9238796

SEMITOOL SST-C-321-280은 다양한 포토 esist 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. 대량의 저항을 빠르고 효율적으로 처리할 수 있는 자동화된 배치 처리 (batch processing) 장비다. 이 시스템은 견고한 환경에서 다양한 기판에 정확하고 반복 가능한 코팅 레이어 (coating layer) 를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성된 베이스를 특징으로하며, 포토 esist 프로세스의 가혹한 환경을 견뎌내는 데 필요한 강도 및 부식 내성을 제공합니다. 이 기지는 또한 다양한 까다로운 운영 환경에서 안정성을 높이는 잘 배치된 기계적 구성 요소 (mechanical component) 를 갖추고 있습니다. 이 기계는 완전히 자동화되어 샤워 헤드 (showerhead) 의 프로그래밍 가능한 동작을 지원하여 여러 처리 단계 및 레시피를 허용합니다. 공구의 핵심은 챔버에 진공을 생성하는 1 단계 압축기로 냉각 된 280 리터 챔버 (chamber) 입니다. 챔버에는 기판 지원을 위해 샤워 헤드와 웨이퍼 척이 장착되어 있습니다. 이 조합은 기판 표면에 균일 하고 제어 된 저항 분산 (resist distersion) 을 보장하여 일관된 두께를 제공합니다. 전면 패널의 디지털 컨트롤을 사용하면 쉽게 설치 및 작업을 수행할 수 있습니다. 챔버의 웨이퍼 운송 자산은 직경이 다양한 최대 8 개의 웨이퍼를 지원합니다. 운영 처리량을 위해 설계되었으며 5 초 범위의 wafer-to-wafer 시간을 제공합니다. 이 더 빠른 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 을 통해 운영 실행 시 더 빠른 시동뿐만 아니라 처리량도 증가할 수 있습니다. 웨이퍼 전송 모델은 또한 오염 구축을 방지하기 위해 자체 청소 메커니즘으로 설계되었습니다. 가동 중 최대한의 정확성을 위해, 장비의 비전 시스템 (vision system) 에는 내장형 비전 (vision) 과 광원 시스템 (light source system) 이 제공되어 기판 뒷면을 명확하게 볼 수 있습니다. 통합 시스템은 항상 최상의 결과를 제공합니다. 또한 시스템 상태 (state-of-the-art signal input/output control unit) 를 통해 시스템 상태를 원격 모니터링할 수 있습니다. SEMITOOL SSTC321280 도구는 photoresist 처리 작업에 이상적인 효율적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 고품질 (High-Quality) 결과와 함께 대규모 운영 실행을 위해 강력하고 안정적인 운영을 제공하도록 설계되었습니다.