판매용 중고 SEMITOOL SST-C-221-280-PB #9408953

SEMITOOL SST-C-221-280-PB는 고급 리소그래피 (lithography) 프로세스에서 처리 할 때 뛰어난 성능과 뛰어난 프로세스 신뢰성을 제공하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 완전하게 자동화된, 완전한 기능을 갖춘 포토레시스트 (photoresist) 처리 솔루션으로, 여러 기판 구성으로 단일 단계 및 다중 단계 프로세스를 실행할 수 있습니다. 이 장치는 완전 자동화 된 기판 로딩 머신 (substrate loading machine) 을 사용하며, 다른 프로세스에 대해 최대 5 개의 레시피 세트를 저장할 수 있습니다. 이 툴은 탁월한 성능, 반복성, 프로세스 신뢰성을 보장하는 최고의 자재, 컴포넌트, 엔지니어링 방식을 갖추고 있습니다. 이 자산은 특허받은 가스 전달 (gas delivery) 기술을 사용하여 감광제를 기판 표면에 균일하게 배포하고 수동 확산의 필요성을 제거합니다. 독특한 이중 펌프 모델 (dual-pump model) 은 기판에 대한 포토 esist의 균일 한 분포를 보장하면서 일관되고 반복 가능한 프로세스를 제공하기 위해 사용됩니다. 장비는 최대 직경 6 인치, 최대 두께 200 um 크기의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 시스템은 완전히 통합 된 쿼츠 크리스탈 모니터 (quartz crystal monitor) 장치를 사용하여 웨이퍼 레벨 포토레지스트 두께를 측정하고 포토레지스트 레이어의 균일성을 모니터링합니다. 이 기계는 또한 실시간 프로세스 내 검사 도구 (in-process inspection tool) 를 갖추고 있는데, 이 도구를 사용하여 사용자는 프로세스가 실행되는 동안 photoresist 레이어를 모니터링할 수 있습니다. 또한 SST-C-221-280-PB에는 고밀도, 저온 베이크 기능이 장착되어 있어 반복 가능한 프로세스 조건을 보장하며, 일관된 저항 패턴 및 베이킹을 보장합니다. 에셋에는 난방 단계 2 개와 냉각 단계 2 개가 장착되어 있어 프로세스 제어가 정확합니다. 전반적으로 SEMITOOL SST-C-221-280-PB는 뛰어난 성능, 프로세스 안정성 및 반복 성을 제공하도록 설계된 고급 포토 esist 모델입니다. 이 장비는 고급 석판화 프로세스 (advanced lithography process) 용으로 설계되었으며, 특정 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의할 수 있는 다양한 프로세스 매개변수를 허용합니다. 이 시스템은 최고 품질의 재료, 컴포넌트, 엔지니어링 관행을 활용하여 뛰어난 성능, 반복성, 프로세스 신뢰성을 보장합니다. 이 장치는 직경이 최대 6 인치, 두께가 200 um 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 내장형 쿼츠 크리스탈 모니터 (quartz crystal monitor) 와 공정 검사 시스템 (in-process inspection system) 을 갖추고 있어 탁월한 성능과 프로세스 신뢰성을 보장합니다.