판매용 중고 SEMITOOL SST-C-221-280-P #9400640
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ID: 9400640
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Spray solvent system, 8"
(3) Chambers (2-Heated)
2001 vintage.
SEMITOOL SST-C-221-280-P는 집적 회로의 에칭, 코팅 및 개발을 위해 특별히 설계된 정밀 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 photoresist 응용 프로그램 프로세스를 정확하게 제어하기 위해 여러 구성 요소를 갖추고 있습니다. 이 장치에는 최첨단 SST-C-221-280-P 포토 esist 스프레이어, 정확한 노출 제어를위한 쿼츠 램프, 재순환 스프레이 챔버가있는 스핀 프로세서가 포함됩니다. SEMITOOL SST-C-221-280-P 포토 esist 스프레이어는 미리 정해진 유속 및 압력으로 정확한 양의 포토 esist를 전달하도록 설계되었습니다. 이것은 특정 스프레이 매개변수로 프로그래밍되는 자동 컨트롤러를 통해 수행됩니다. 이를 통해 가능한 품질이 가장 높은 더 균일 한 부품을 만들 수 있습니다. SST-C-221-280-P 머신과 함께 사용하도록 설계된 쿼츠 램프는 노출 시간과 강도를 정확하게 제어합니다. 이것은 포토 esist가 과다 노출되거나 노출되지 않도록 보장합니다. 다른 포토레지스트 (photoresist) 공식에 대한 프로세스를 최적화하기 위해 강도 및 노출 시간을 쉽게 조정할 수 있습니다. SEMITOOL SST-C-221-280-P 도구에 포함 된 스핀 프로세서에는 정밀한 처리 속도와 온도 제어를 제공하는 고급 자동 제어가 포함되어 있습니다. 스핀 프로세서 (spin processor) 내에 전략적으로 장착 된 제트는 기판에 포토 esist의 미세한 안개 (fine mist) 를 뿌린 다음 최적의 온도에서 처리합니다. 프로세서의 설계는 포토레시스트 (photoresist) 의 손실을 최소화하고, 정확하고 반복 가능한 처리 조건을 위한 동적 환경을 제공합니다. SST-C-221-280-P 포토 esist 자산은 집적 회로를 에칭, 코팅 및 개발하기위한 완벽한 선택입니다. 그 "에너지 '는 정확 하게 조종 된 자동화 공정 과 더불어, 노출 과 처리 의 정확 한 제어 를 통하여, 믿을 수 있고 반복 할 수 있는 결과 를 가져온다. 또한, 다른 포토 esist 제형을 사용하는 모델의 능력은이를 광범위한 응용 프로그램 (application) 에서 사용할 수 있도록 합니다.
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