판매용 중고 SEMITOOL SST-742 #9356936

SEMITOOL SST-742는 반도체 기판을 효율적이고 정확하게 처리하는 광저항 장비입니다. 이 배치 유형 플랫폼은 오버플로 린스, 핫 DI 린스, 센터 로드, 스핀 드라이어, 트랙 전송, 프리 베이크, 앨리너, 자동 전자 빔 리소그래피, 포스트 베이크, 개발 및 트랙 언로드로 구성됩니다. 탁월한 프로세스 재현성, 광범위한 프로세스 기능, 사용자 친화적 운영 등을 제공하도록 설계되었습니다. 오버플로 린스는 35 ~ 200äm 크기의 기판뿐만 아니라, 칩 온 보드, 프로브 카드 및 최대 20mm 높이의 기판을 처리 할 수 있습니다. 뜨거운 DI 린스 시설에는 최대 95 ° C에서 단 하나의 깨끗한 DI 물 공급이 필요합니다. 단일 헤더를 사용하여 최대 4 개의 린스 탱크 (rinse tank) 를 공급할 수 있으므로 유연성이 필요한 미립자 제거 수준을 선택할 수 있습니다. 중앙 하중은 기판을 제자리에 두도록 설계되었으며, 스핀 건조기 (spin dryer) 는 DI 린스 후 웨이퍼에 남은 잔류 물을 제거합니다. 트랙 전송 (Track Transfer) 은 중앙 하중에서 정렬 단계로 웨이퍼를 운송합니다. 여기서, 웨이퍼의 위치 정확도는 25äm의 정확도로 유지됩니다. 그 후, 프리 베이크는 포토 esist를 적용하는 데 사용되고, 자동 e-빔 리소그래피는 포토 esist를 노출시키는 데 사용됩니다. 그런 다음, 포스트 베이크 (Post-bake) 는 포토리스 연주자의 적용을 완료하고, 트랙이 시스템에서 함께 이동하면서 웨이퍼를 언로드합니다. 전반적으로 SEMITOOL SST 742 (SEMITOOL SST 742) 는 폭넓은 프로세스 기능과 안정적인 프로세스 재생성을 제공하는 포괄적인 포토 esist 장치입니다. 인체 공학적 설계는 최적의 운영자 안전 (Operator Safety) 을 제공하는 반면, 기계의 자동화는 프로세스 처리량을 향상시키고 잘못된 정렬 가능성을 제거합니다. 이 도구는 고성능 기판 및 반도체 장치의 산업 생산에 이상적입니다.