판매용 중고 SEMITOOL SST-742 #9229862

SEMITOOL SST-742 포토 esist 장비는 특화된 대역 포토 esist 코터로, 높은 처리량, 신뢰할 수있는 균일 한 코팅을 제공하기 위해 설계가 최적화되었습니다. 포토레스 (photoresist) 시스템은 특허를받은 이중 레벨 스프레이 기술을 갖추고 있으며, 이를 통해 뛰어난 코팅 균일성 및 증착 제어가 가능합니다. 통합 온도 제어 장치 (integrated temperature control unit) 는 기판 표면에서 기질까지 일관된 코팅을 보장합니다. 이 강화 된 제어는 반복 가능하고 신뢰할 수있는 photoresist의 균일 한 코트를 초래합니다. SEMITOOL SST 742의 기계는 메인 챔버와 4 개의 위성 챔버로 구성됩니다. 주 챔버는 오버 헤드 스프레이 챔버 (overhead spray chamber), 플레 넘 (plenum) 및 가열 된 챔버 벽 (chamber wall) 으로 구성된 깊고 직사각형의 스테인리스 박스 (stainless steel box) 입니다. 메인 챔버와 독립적 인 4 개의 위성 챔버 (satellite chamber) 도 코팅 도구를 구성합니다. 각 위성 챔버는 메인 챔버 플레 넘에 연결됩니다. 전체 자산은 고급 통합 컨트롤러 (Integrated Controller) 에 의해 더욱 통제되어 온도 (Temperature) 및 프로세스 매개변수 제어 (Process Parameter Control) 를 모두 SST-742의 스프레이 공정은 대형 기판에 균일 한 증착에 최적화 된 스프레이 방법론으로 구성됩니다. 사용자 정의 설계 스프레이 건 (Spray Gun) 은 스프레이 챔버 내부에서 작동하며, 결과 균일성에 대한 빠른 반응과 정확한 제어를 제공하면서 포토 esist 솔루션으로 기판을 자동으로 청소합니다. 그런 다음 기판을 가열 된 챔버에 넣습니다. 이 챔버에는 가변 온도 가열 벽이 있으며, 이는 90 ° C (194 ° F) 와 160 ° C (320 ° F) 사이의 온도에서 작동하며, 모든 포토 esist 제품에 대한 코팅 성능을 최적화 할 수 있습니다. SST 742 제어 소프트웨어를 사용하면 드웰 타임, 온도, 질소 흐름, 가스 압력 등 다양한 프로세스 매개 변수를 설정할 수 있습니다. 레시피 에디터 (recipe editor) 도 포함되어 있으며, 다양한 포토 esist를 쉽게 설정할 수 있습니다. SEMITOOL SST-742 포토 esist 모델은 다재다능하므로 금속 리프트 오프 또는 태양 전지 캡슐화와 같은 다양한 응용 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.