판매용 중고 SEMITOOL SST-742 #293653191

SEMITOOL SST-742 Photoresist Equipment는 MEMS 구성 및 웨이퍼 레벨 패키징 (Wafer Level Packaging) 과 같은 중요한 위치 중복이 필요한 애플리케이션의 최고 수준의 정확성과 반복 성을 보장하도록 설계된 최첨단 모듈식 자동 처리 시스템입니다. 이 장치는 고유한 모듈식 아키텍처 (modular architecture) 를 사용하여 설계되었는데, 사용자는 압력과 시간 모두에 유연성을 제공하여 시스템 (machine) 이 처리량을 극대화하고 특정 프로세스의 요구를 충족하도록 구성할 수 있습니다. 또한, 독특한 챔버 설계 및 재순환 흐름 시스템 (recirculating flow systems) 의 통합은 온도 균일성을 향상시켜 최고의 수준의 프로세스 반복 성과 재생성을 보장합니다. SEMITOOL SST 742 Machine의 주요 구성 요소에는 Substrate Loading and Transport Tool, Process Chamber Assembly, Fluid Delivery Asset 및 Control Model이 포함됩니다. 기판 적재 및 수송 장비 (Transport Equiptrate) 는 기판을 단순히 적재 스테이션에 적재 한 다음 프로세스 챔버 (Process Chamber) 어셈블리 내의 해당 위치로 자동으로 전송합니다. 프로세스 챔버 어셈블리는 다양한 작업을 수행하는 사용자지정 (userspecified) 모듈로 구성됩니다. 모듈에는 처리 전에 파퍼에 포토 esist를 균등하게 분산시키는 스프레더 바 (spreader bar) 가 장착되어 있습니다. 유체 전달 시스템 (fluid delivery system) 은 분배 수량을 정확하고 완벽하게 제어하여 정확하고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 제어 장치 (Control Unit) 는 시스템과 사용자 간의 인터페이스를 제공하며, 사용자는 프로세스 매개변수를 설정하고 모니터링을 실시간으로 수행할 수 있습니다. SST-742 Tool의 모듈식 설계와 다양한 프로세스 기능을 통해 MEMS 구성, 고급 패키징, Opto-electronics, DISARRAY 웨이퍼 프로세스 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 온도가 높을수록 DSP 등급 (grade) 과 저저저항 저항성 (low resistivity resists) 을 포함한 다양한 포토레시스트 수지를 처리 할 수 있습니다. 또한, 고급 제어 자산 (advanced control asset) 은 모든 매개변수를 자동화 및 제어하여 정확하고 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. 높은 안정성을 자랑하는 SST 742 는 웨이퍼 (Wafer) 처리량을 향상시키고 비용이 많이 드는 재작업에 소요되는 비용을 절감하는 것으로 검증되었습니다.