판매용 중고 SEMITOOL SST-742-280 #293657532

SEMITOOL SST-742-280
ID: 293657532
Spray solvent system Controller Valves Sensors Tubes Pipes Process chamber Tanks (4) Heated tanks (EKC, NMP or similar) (3) Unheated tanks (IPA or similar) (8) Trebor pumps Rotor, 8" Bolt quick disconnect Carrier, P/N: A192-81M-0215.
SEMITOOL SST-742-280은 고도의 정밀 사진 해설을 위해 설계된 포토 esist 처리 장비입니다. 이 시스템은 프로세스 기능 (5um ~ 4um 해상도) 을 통해 최대 8인치까지 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 고밀도 집적회로를 만드는 데 필수적인, 웨이퍼 표면의 초정밀 이미징을 위해 설계되었습니다. SST-742-280 장치는 경량 노출 및 웨이퍼의 정확한 위치를 위해 반전 된 광학 현미경 기계를 기반으로합니다. 웨이퍼는 고정밀 마스크를 통해 자외선에 노출됩니다. [마스크] 에는 이미지의 크기와 모양을 조정할 수 있는 다양한 [미세 격자] 가 있습니다. 그런 다음 웨이퍼는 고강도 울트라 보라색 램프를 사용하여 노출됩니다. 광원의 강도를 조정하여 원하는 photoresist 이미지 해상도를 제공 할 수 있습니다. SEMITOOL SST-742-280 도구에는 LCD (액정 디스플레이) 모니터가 포함되어 있어 사용자가 사진 마스크 세부 정보를 실시간으로 볼 수 있습니다. 또한 LCD 모니터는 품질 제어를 위해 photoresist 패턴의 피드백 이미지를 표시할 수 있습니다. 이 에셋에는 자동 정렬 장치 (Automated Alignment Unit) 도 포함되어 있어 마스크가 정확한 정렬을 위해 웨이퍼에 정확하게 정렬되어 있습니다. SST-742-280에는 처리 스테이션 사이에 웨이퍼를 전송하기 위해 컨베이어 모델이 장착되어 있습니다. 이 장비에는 개별 웨이퍼를 보다 효율적으로 처리 할 수있는 필 오프 (peel-off) 기능이 포함되어 있습니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 사이의 접촉을 개선하기 위해 오목한 테이블 디자인이 장착되어 있습니다. SEMITOOL SST-742-280 시스템은 정확한 사진 해설을 위해 매우 안정적이고 유연한 도구입니다. 작업을 완료하기 위해 노출 후, 에칭 및 구동 후 프로세스를 지원합니다. 이 장치는 프로그래머블 (programmable) 로직 컨트롤러와 자가 최적화 모니터로 제작되어 프로세스 설정이 작업 전체에서 일정하게 유지되도록 합니다. 또한, 이 기계에는 온도 조절 환경이 포함되어 있어 포토 esist 이미지의 재생성을 보장합니다.
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