판매용 중고 SEMITOOL SST-642 #293587516

SEMITOOL SST-642 Photoresist Equipment는 photoresist 처리를 위해 설계된 아트 시스템의 상태입니다. 매우 작고 상세한 기능이 필요한 회로 기판 (circuit board) 및 기타 정밀 응용 프로그램 (precision application) 의 생산에 사용됩니다. 이 장치는 진공 확산 펌프 (vacuum diffusion pump) 를 사용하여 필요한 수준의 청결을 유지하면서 낮은 수준의 압력과 온도를 생성합니다. 진공 확산 펌프 (vacuum diffusion pump) 는 광저온 (photoresist process) 의 다른 단계에서 처리 챔버에서 일관된 온도와 압력 기울기를 유지할 수 있으므로 주변 온도 또는 습도의 변화에도 일관된 출력을 제공 할 수 있습니다. 또한 SST-642 에는 기판의 스핀 속도 (spin speed) 를 직접 제어하는 매우 정밀하고 고해상도 스테퍼 모터 (stepper motor) 가 포함되어 있으며, 기계가 작동 중일 때 기판 가열 및 냉각을 직접 제어합니다. 스테퍼 모터는 포토 esist를 처리 할 때 극도로 정밀하고 정확합니다. "스테퍼 모우터 '는 또한" 기판' 이 "챔버 '내 의 위 와 아래 를 모두 움직 여 전체 를 처리 하도록 한다. SEMITOOL SST-642에는 처리 실에서 오염 된 액체를 제거하기위한 펌프 아웃 도구도 제공됩니다. 이 자산은 매우 효과적인 여과 모델을 사용하여 처리 중인 액체 (liquid) 에서 미립자를 제거하고 오염 (contamination) 이 기판에 들어가서 손상되는 것을 방지합니다. 이것 은 또한 처리 되는 기질 에 관계 없이 "챔버 '의 정결 한 수준 을 유지 하는 데 도움 이 되며, 처리 되는" 기판' 이나 완성 되는 과정 의 복잡성 에 관계 없이 "클리닝 '을 유지 하는 데 도움 이 된다. SST-642 는 또한 내장 이미징 및 분석 장비 (BIST) 를 포함하고 있어 프로세스 모니터링 중에 사용자는 언제든지 포토레지스트 (photoresist) 레이어와 작업 조각에 대한 효과를 분석할 수 있습니다. 이 고급 이미징 및 분석 시스템 (Advanced Imaging and Analysis System) 은 발생하는 분 (Minute) 변경 사항을 감지하고 프로세스에서 가능한 불규칙성을 사용자에게 경고할 수 있습니다. SEMITOOL SST-642 (SEMITOOL SST-642) 는 세라믹 재료가 늘어선 공정 챔버를 특징으로하여 전체 공정에서 에너지 손실을 최소화합니다. 전체 장치 (제대로 유지되면) 는 가동 중지 시간이 짧고, 가장 까다로운 어플리케이션에 대한 포토레시스트 처리 시 효율성이 높은 것으로 입증되었습니다. 고급, 자동 기능을 갖춘 SST-642 는 포토레시스트 (photoresist) 처리에서 높은 수준의 정확성과 일관성을 요구하는 정밀 어플리케이션을 위한 완벽한 솔루션입니다.