판매용 중고 SEMITOOL SST-614-AG #9043971

SEMITOOL SST-614-AG는 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 실리콘 웨이퍼에 photoresist 솔루션을 적용하고 개발하도록 특별히 설계된 "독립형" 장치입니다. 이 악기의 핵심 구성 요소는 웨이퍼 전송 스테이션, 스핀 스프레이 트랙, 클리어 목욕 트랙, 스핀 스프레이어 및 Allmighty 트랙입니다. wafer transfer station (웨이퍼 전송 스테이션) 을 사용하면 운영자가 시스템에서 단일 웨이퍼를 수동으로 로드하거나 언로드할 수 있습니다. 이 전송 스테이션을 사용하면 웨이퍼 방향을 세로로, 수평으로 조정할 수 있습니다. 스핀 스프레이 트랙 (Spin Spray Track) 은 포토 esist 솔루션을 웨이퍼에 정확하게 분배하도록 설계되었습니다. 이것 은 광소시스트 의 균일 한 "코우팅 '을 만들어" 웨이퍼' 에 고른 "프로파일 '을 만들어 낸다. 클리어 바스 트랙 (Clear Bath Track) 은 수성 또는 비 수성 개발자 솔루션으로 채워진 단일 선박으로 구성되며, 워시 스테이션으로서 기능합니다. 목욕 트랙 내의 스프레이어 응용 프로그램 (sprayer applicator) 은 웨이퍼를 가로 질러 개발자 솔루션의 균등한 확산을 보장하여보다 효율적인 사진 개발을 가능하게합니다. 스핀 스프레이 (Spin Spray) 트랙은 클리어 바스 트랙 (Clear Bath Track) 과 함께 사용하여 웨이퍼에 균일 한 포토레지스트 프로파일을 만들 수도 있습니다. 마지막으로, 올 마이티 (Allmighty) 트랙은 유닛 내 스핀 스프레이 (spin-spray) 에서 저항 잔기를 축적하고 장치 외부의 린스 탱크를 청소하기 위해 폐기합니다. 최대 12 개의 Standard 200mm 웨이퍼를 갖춘 필터링 머신입니다. 결론적으로, SST-614-AG는 실리콘 웨이퍼에 photoresist 솔루션을 개발하기위한 완전한 photoresist 처리 도구입니다. wafer transfer station, spin spray track, clear bath track, spin sprayer 및 Allmighty 트랙을 포함한 많은 기능이 장착되어 균일하고 효율적인 처리를 보장합니다. 이 photoresist 자산은 생산 속도를 향상시키고 photoresist 처리 응용 프로그램의 최적의 결과를 보장 할 수 있습니다.