판매용 중고 SEMITOOL SST 421 #9392447

SEMITOOL SST 421은 반도체 산업의 고급 패턴화 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 완전 자동화 시스템 (Fully Automated System) 으로, 사용자가 가장 까다로운 저항 프로세스에서 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 스핀 코트와 핫 플레이트의 두 단계가 있습니다. 스핀 코트 (spin-coat) 단계는 강제 공기 흐름 기계를 사용하여 더 큰 웨이퍼 표면에 대한 포토 esist 스핀 코팅의 균일성을 향상시킵니다. 이것은 기판에서 반복 가능한 고품질 포토 esist 패턴을 보장합니다. 스핀 코트 스테이지에는 여러 저항 유형을 코팅하기위한 온도 조절도 있습니다. 핫 플레이트 스테이지 (hot-plate stage) 에는 난방이 많은 기판의 처리량이 많은 넓은 처리 영역이 포함됩니다. 이 가열은 임계 치수와 모서리 배치 정밀도를 향상시킵니다. 이 도구는 편의를 고려하여 설계되었습니다. 동력 기판 단계는 부드러운 도구 내 수송 및 기판 처리를 가능하게합니다. 또한 웨이퍼를 쉽게 적재 및 언로드할 수있는 로봇 화 된 도구가 있습니다. 또한, 에셋의 터치스크린 컨트롤러는 간단한 설치 및 작동을 위해 사용자에게 친숙한 프로그래밍 및 제어 기능을 제공합니다. SEMITOOL SST-421에는 레이어 두께 및 기타 매개변수를 모니터링 할 수있는 온보드 웨이퍼 레벨 도량형 챔버가 있습니다. 이를 통해 고품질 패턴화 (patterning) 결과는 물론, 프로세스 제어 및 최적화를 용이하게 할 수 있습니다. 이 모델은 원격 모니터링 (Remote Monitoring) 및 제어 (Control) 기능도 제공하여 모든 위치에서 유연하게 공구를 작동하고 액세스할 수 있습니다. 전반적으로, SST 421은 사용자에게 빠르고 안정적인 결과를 제공하는 고성능 포토레시스트 (photoresist) 장비로, 반도체 제작의 고급 패턴화 프로세스에 적합한 선택입니다.