판매용 중고 SEMITOOL SST 421 #9379925

SEMITOOL SST 421은 반도체 웨이퍼에 집적 회로를 만들도록 설계된 포토리스 일괄 처리 장비입니다. 고급 메모리, 논리 및 기타 복잡한 IC 기술에 사용되는 프로세스에 최적화되어 있습니다. SEMITOOL SST-421 은 최대 수준의 디바이스 수율, 사이클 시간 단축, 자동 구성 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 전용 Ultra Process Technology-UpTech ™, 고급 알고리즘, 통합 프로세스 모듈 및 빠른 변경 처리량 기능의 조합을 사용합니다. 이렇게 하면 주기 시간을 줄여 처리량을 증가시킬 수 있습니다. SST 421은 통합 모듈 식 플랫폼으로 구성됩니다. 4 가지 주요 구성 요소는 통합 화학 전달 시스템, 열 전달 챔버, 기판 위치 지정 장치 및 온보드 컨트롤러입니다. 통합 화학 전달 기계는 펌프 도구에 연결된 4 개의 독립적으로 제어 된 에어컨 화학 탱크로 구성됩니다. SST-421에 사용할 수있는 화학 탱크 구성은 각 고유 프로세스에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 에셋에는 포토 esist, developer 및 etchants와 같은 다양한 화학 물질을 전달하는 데 필요한 여러 펌프와 필터가 포함됩니다. 열 전달 챔버 (thermal transfer chamber) 는 웨이퍼 표면에서 공정 온도의 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 챔버는 프로세스 요구 사항에 따라 조정할 수 있는 내장 히터 (heater) 및 팬 (fan) 모델을 사용합니다. 기판 위치 장비는 5 개의 개별적으로 제어 가능한 동작 축을 가진 웨이퍼 처리 장치입니다. 이렇게 하면 프로세스 중에 기판을 정확하게 정렬하고 배치할 수 있습니다. 이 시스템에는 또한 화학 탱크 (tank) 로 또는 화학 탱크로 기판을 픽업 및 전달하는 로봇 암이 포함되어 있습니다. 온보드 컨트롤러는 사용자에게 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공하는 도구를 위해 제작된 사용자 정의 컨트롤러입니다. 이 컨트롤러를 사용하여 사용자는 레시피를 프로그래밍하고 수정할 수 있습니다. 컨트롤러는 실시간 프로세스 매개변수도 모니터링할 수 있습니다. 컨트롤러는 네트워크를 통해 연결하여 원격 제어를 활성화할 수 있습니다. SEMITOOL SST 421은 반도체 장치의 대용량, 고정밀도 생산을 위해 설계된 혁신적인 포토 esist 처리 장치입니다. 고급 알고리즘, 통합 프로세스 모듈, 빠른 변경 처리 (quick-change throughput) 기능을 결합하여 처리량을 높이고 주기 시간을 단축합니다. 모듈식 아키텍처는 구성 기능을 제공하는 반면, 온보드 컨트롤러는 직관적이고, 치료가 가능한 작동을 보장합니다.