판매용 중고 SEMITOOL SST 421 #9292694

SEMITOOL SST 421 photoresist 시스템은 다양한 반도체 제조 작업에 사용되는 다양하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 기판을 코팅, 포토 esist 중합, 스트라이핑 포토 esist 및 에칭 기판을 코팅 할 수 있습니다. 이 기계는 이온화 된 물 제어, 저항 코팅 및 저항 스트립 모듈, Photoresist 및 Ion Milling 모듈 및 열 산화 오븐으로 구성됩니다. 디이온화 물 제어 모듈 (De-ionized Water Control Module) 에는 정확한 양의 이온화 된 물을 제공하도록 설계된 2 개의 저수지와 펌프가 있습니다. 물 은 "기판 '과 다른 수술 을 하는 데 사용 되며, 이것 은" 시스템' 의 필수적 인 부분 이 된다. Resist Coating and Resist Strip Module은 photoresist를 포함한 정확한 코팅 솔루션을 기판에 제공하도록 설계되었습니다. Photoresist와 Ion Milling Module은 각각 photoresist와 etch 기판을 중합하도록 설계되었습니다. 이 두 가지 모두 다양한 프로세스와 형상에 맞게 구성할 수 있습니다. 열 산화 오븐은 기질에서 여러 산화 과정을 수행 할 수 있습니다. 또한 조정 가능한 온도 설정 (Adjustable temperature settings) 과 빠른 가열 요소 (rapid heating element) 를 자랑하여 사용자는 단일 주기에서 여러 산화 단계를 완료할 수 있습니다. 전반적으로 SEMITOOL SST-421은 다양한 반 도체 제조 작업에 유연성과 정밀도를 제공합니다. 기질은 탈 이온화 된 물을 사용하여 린스 (rinse) 한 다음, 포토 esist로 코팅 된 후 미리 결정된 두께로 회전시킬 수있다. 그런 다음 Photoresist를 Photoresist 및 Ion Milling 모듈에서 중합하여 원하는 모양으로 에칭 할 수 있습니다. 마지막으로, 기질은 오븐에서 산화-가공 될 수있다. 이를 통해 사용자는 복잡한 반도체 제조 프로세스를 단일 주기로 완료 할 수 있습니다. 또한, 유연성은 다양한 프로세스와 기하학에 적응할 수 있다는 것을 의미하며, 반도체 (semi-conductor) 생산을 위해 안정적이고 비용 효율적인 도구입니다.