판매용 중고 SEMITOOL SST 421 #9229861

SEMITOOL SST 421은 SEMITOOL에서 제조 한 포토 esist 장비 (Photoresist Equipment) 로, 광학 석판화 및 반도체 장치 제작의 다른 단계에 대한 기판을 효율적으로 준비하기위한 이상적인 솔루션입니다. 이 시스템은 처리량 향상을 위해 4 개의 6, "8" 및 12 인치 라운드 웨이퍼를 동시에 처리 할 수있는 4 개의 스테이션 단일 캐비닛 구성을 갖추고 있습니다. 이 시스템의 모듈 식 설계는 SEMITOOL Triline/Pilot Resist Filtration Unit (RF-0320) 및 Triline/Pilot Dispensing Machine (DPT-0320) 의 통합을 허용합니다. 또한, SEMITOOL SST-421은 다양한 사전/사후 개발 베이킹 옵션과 프로세스 레시피 기능을 제공합니다. SST 421은 수동 기계적 (manual mechanical) 부품과 자동으로 움직이는 부품을 모두 갖춘 인체 공학적 (ergonomic) 설계를 통해 정확하고 반복 가능한 목욕 형상을 구현합니다. SEMITOOL Accudepth Technology는 농도 및 온도를 정확하게 측정하여 여러 프로젝트에서 균일 한 필름 두께와 반복 성을 보장합니다. 이 도구는 또한 일관된 저항 온도 데이터 및 반복성을 위해 통합 순환 히터 (circulation heater) 가있는 통합 저항 온도 제어 에셋을 특징으로합니다. SST-421은 16 "최대 기판 크기, 단일 코트 단계, 물리적 마스크 변경 없이 반복, 기존 수동 개발 탱크와 같은 여러 개발 옵션, 최대 효율성을 위해 설계된 4 포켓 탱크, 가변 사이프 너비 및 조정 가능한 껍질 사이클. 이 모델에는 수동 유지 관리 (manual maintenance) 가 필요 없는 자동 진단 기능도 있습니다. 세미툴 SST 421 (SEMITOOL SST 421) 은 운영자 시간을 절약하기 위한 고유한 설계, 다양한 저항과의 호환성 등 다양한 이점을 제공합니다. 이 장비는 광범위한 사전/사후 (pre-and post-developing) 베이킹 작업을 통해 프로세스 유연성을 극대화했으며, 저항성 온도 및 농도를 정확하게 제어하여 반복 성과 성능이 우수합니다. 또한 SEMITOOL SST-421은 수동 기계 및 자동 이동 부품을 모두 사용하여 화학 소비를 줄입니다. 따라서 이 시스템은 저용량 (low-to-high-volume) 구현에 이르기까지 광범위한 프로세스에 이상적입니다.