판매용 중고 SEMITOOL SST 421-280 #9351561

SEMITOOL SST 421-280은 반도체 산업의 microfabrication 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 공정 주기 (process cycle time) 와 공정 품질 보증 (high process quality assurance) 및 최소 연산자 입력을 결합한 완전 자동화된 습식 벤치 시스템입니다. 이 장치 는 직경 이 최대 8 "인치 '인" 웨이퍼' 를 처리 하는 데 적합 하며 "실리콘 '에서 경화 된 금속 에 이르는 여러 가지 기판 을 처리 하기 위한 단일" 카세트' 내지 "카세트 '기판 단계 를 함유 하고 있다. SEMITOOL SST-421-280에는 개발자, 에찬트, 중화기 및 제거기와 같은 프로세스에 대한 8 개의 시약이 있습니다. 모듈식 (Modular) 기반 머신 컨트롤러로 설계되어 설정과 프로세스 매개변수를 신속하게 변경할 수 있습니다. 이 도구는 또한 스핀 린스 건조 (spin-rinse drying) 및 플라즈마 처리 (plasma processing) 와 같은 다른 프로세스와 통합 할 수 있습니다. 또한, 에셋은 온도, 주기 수 모니터링과 같은 전체 진단 기능을 제공합니다. SST 421-280에는 EPD (Automated End Point Detection Model) 가 장착되어 있어 정확한 화학 공정 제어가 가능합니다. 이 장비는 열 단계 (thermal stage) 와 사진 탐지기 (photo detector) 의 장점을 결합하여 웨이퍼의 표면 저항성을 실시간으로 모니터링합니다. 또한, 시스템은 프로세스 추적을 허용하는 사이클 로그 (cycle log) 와 매개변수를 기록하는 광 데이터 로거 (optical datalogger) 를 제공합니다. 마지막으로, 이 장치에는 단일 웨이퍼 로드 (Wafer Load) 와 언로드 (Unload) 와 배치 로딩 기능을 모두 제공하는 컨베이어가 장착되어 있습니다. 컨베이어는 또한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 전에 웨이퍼를 매우 정확하게 포지셔닝하여 가능한 가장 높은 수율을 보장합니다. SST-421-280 (SST-421-280) 은 반도체 업계를 위한 광범위한 어플리케이션에서 높은 공정 품질 보장 및 유연성을 제공하도록 설계된 고급 포토레시스트 (photoresist) 머신입니다. 자동화된 엔드 포인트 감지 도구, 컨베이어 (Conveyor) 및 전체 진단 기능을 통해, 자산은 정확하고 비용 효율적인 구성 프로세스를 지원합니다.