판매용 중고 SEMITOOL SST 421-280 #293734246

SEMITOOL SST 421-280은 집적 회로 제조를 위해 모든 습식 처리 작업을 지원하도록 설계된 photoresist 처리 장비입니다. 이 시스템은 실리콘 웨이퍼, 갈륨 비소, 실리콘 칩 등 다양한 기판 재료를 제공합니다. 이 장치는 중요한 기능으로 온도 보상이 낮은 Potentiostat 제어, 저전력 처리를 제공합니다. SEMITOOL SST-421-280은 microchip 구성 요소 시스템을 위해 정확한 photoresist 처리를 위해 다양한 기능을 제공합니다. 사전 처리, 공정 후 린스 및 포스트 롤러를 포함한 여러 정밀 습식 스테이션이 있습니다. 또한 통합 프로그래밍 가능한 스핀 속도 제어 및 기판 가열기를 갖추고 있습니다. 이 도구는 최대 24 개의 기판 로드 스테이션이있는 유연한 표준 프로세스 구성을 가지고 있으며, 2 개의 다른 캐리어 크기로 제공됩니다. 에셋은 최대 128 개의 레시피를 저장할 수있는 직관적 인 터치 스크린 컨트롤 (touch screen control) 모델을 가지고 있으며 최대 16 개의 별도 포토레지스트 프로세스를 실행할 수 있습니다. SST 421-280은 또한 모든 젖은 공정에 정제 된 물을 제공하는 역 삼투법 (RO) 을 특징으로합니다. 불규칙한 온도나 화학적 흐름의 경우, 가공선을 자동으로 종료하기 위해 안전 차단 (safety shutdown) 장비가 장착되어 있습니다. 고품질 처리 결과를 얻기 위해 He 2 O 3 O 2 가스 혼합 시스템 (옵션) 이 장착되어 있습니다. 이 장치는 광범위한 경보 및 안전 연동 (Safety Interlock) 을 포함한 여러 안전 기능으로 설계되었습니다. 간편한 액세스, 구획화 (compartmentalized) 및 부분적으로 동봉 된 랩 프레임이 장착되어 있으며, 편안한 운영을 위해 뛰어난 인체 공학을 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 스택 가능한 건조 스테이션을 갖추고 있어 효율적인 라인 작동을 위해 기판 밀도를 증가시킵니다. SST-421-280은 마이크로 전자 프로세싱을 위한 프로세스 제어 표준 및 규정을 충족하도록 설계되었습니다. 스택형 HEPA 필터와 스크러빙 시스템 (scrubbing system) 이 포함된 통합 배기 도구를 사용하여 관련 모든 오염 제어 규정을 충족합니다. 이 자산은 또한 완벽한 프로세스 제어를 위해 각 프로세스 매개 변수에 대한 온라인 추적 기능 및 모니터링을 제공합니다. 전반적으로 SEMITOOL SST 421-280은 마이크로 칩을위한 포토 esist 처리에 적합한 선택입니다. 효율적이고, 정확하며, 안정적인 처리를 위해 필요한 모든 기능을 갖추고 있습니다. 마이크로 전자 생산 및 테스트에 이상적인 선택입니다.