판매용 중고 SEMITOOL SST 421-280 #293657531

ID: 293657531
웨이퍼 크기: 8"
Spray solvent system, 8" Rotor Chamber Compressed air Controller Valves Sensors Tubes Pipes Process chamber Tanks (2) Heated tanks (EKC, NMP or similar) (2) Unheated tanks (IPA or similar) (4) Trebor pumps Rotor, 8" Bolt quick disconnect Carrier, P/N: A192-81M-0215 Power supply: 400 V.
SEMITOOL SST 421-280은 반도체 웨이퍼에서 포토 esist를 스트립하는 데 사용되는 완전 자동화 된 포토 esist 스트립 장비입니다. 혁신적인 기술, 고급 기계식 처리 시스템 (mechanical handling system) 을 갖추고 있으며 다양한 포토 esist 스트립 프로세스에 적합합니다. 이 시스템은 처리량을 향상시키고, 주기 시간을 줄이고, 뛰어난 포토레지스트 스트립을 생성하도록 설계되었습니다. SEMITOOL SST-421-280에는 작업 공간 내에서 빠르고 효율적으로 이동할 수 있는 고성능 X-Y-Z 전송 헤드가 장착되어 있습니다. 이 고급 로봇 암 (Advanced robot arm) 은 생산 라인에 처리하기 위해 다른 포토리스 연주자 웨이퍼를 선택, 잡기 및 배치 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 단기 메모리 메모리 매핑 머신 (memory-mapping machine) 을 사용하며, 각진 위치에서 플랫 평면으로 기판을 정확하게 회전시키는 데 필요한 특정 데이터를 저장할 수 있습니다. SST 421-280은 최대 온도 280 ° C의 강력한 가열 도구를 자랑하며, 다양한 반도체 재료를 사용하여 정확하고 균일 한 포토 esist 스트립 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 또한 개선된 유체 관리 자산 (Enhanced Fluid Management Asset) 을 통해 스트립 시퀀스 전체에서 스트리퍼 솔루션을 효과적으로 관리하여 최적의 스트립 속도를 유지하고 수율을 향상시킬 수 있습니다. 이 모델에는 정확한 압력 제어 메커니즘 (pressure-control mechanism) 이 포함되어 있으며, 이 메커니즘은 웨이퍼 간의 적절한 접촉을 유지하고 일관된 스트립을 위해 저항합니다. 또한 옵션으로 제공되는 자동 프로파일러 (Autoprofiler) 옵션을 사용하여 스트라이프 균일성을 모니터링하고 필요에 따라 실시간 조정을 수행할 수 있습니다. 마지막으로, SST-421-280 은 직관적인 사용자 인터페이스와 함께 제공되므로 하나의 중앙 콘솔에서 프로세스를 손쉽게 액세스, 구성, 모니터링할 수 있습니다. 이 장비에는 여러 진단 도구 (diagnostic tools) 가 포함되어 있어 photoresist 스트립의 진행 상황을 추적할 수 있습니다. 전반적으로 SEMITOOL SST 421-280은 균일하고 신뢰할 수있는 결과를 제공하도록 설계된 고급 포토 esist 스트립 시스템입니다. 사용자 친화적 인터페이스, 강력한 난방 기능, 정밀 제어 시스템 등을 통해 반도체 (Industrial Semiconductor) 생산 환경에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.
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