판매용 중고 SEMITOOL SST 408 #9203260

SEMITOOL SST 408은 다양한 photolithographic 처리 작업을 위해 설계된 다용도 및 사용자 친화적 인 photoresist 장비입니다. 이 시스템을 사용하면 생산 기판에 미세한 패턴을 만들기 위해 웨이퍼 클리닝 (wafer cleaning), 코팅 (coating), 개발 (developing) 및 에칭 (etching) 작업을 빠르고 쉽게 수행할 수 있습니다. 즉석에서 프로세스 요구사항을 변경할 수 있으므로, 이 장치를 매우 적응하고 효율적으로 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 자동화된 카세트-카세트 (cassette-to-cassette) 웨이퍼 로드 및 언로드 기능이 있으며, 이는 더 큰 프로세스 실행을 위해 용량이 늘어납니다. 또한, 큰 챔버 크기는 한 번에 최대 200 웨이퍼 (4 인치 직경) 를 처리 할 수있는 기능을 제공합니다. 이를 통해 대규모 운영 목표를 신속하고 효율적으로 달성할 수 있습니다. SST 408 의 기능 팩 (feature-packed) 제어판은 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하여 프로세스 매개변수를 쉽게 구성할 수 있습니다. 여기에는 필름 스핀 속도, 분배 속도, 에치 속도, 저항 유형, 증착률, 결정화 속도, 열 경사 속도 및 적출 시간과 같은 변수를 제어하는 기능이 포함됩니다. 오버슈트 보호 (Overshoot Protection) 와 같은 고급 프로세스 안전 (Advanced Process Safety) 기능은 가장 엄격한 요구 사항을 충족하는 균일하고 일관된 프로세스를 보장합니다. 또한, 이 시스템에는 다양한 네트워킹 기능과 간편한 레시피 생성을 제공하는 PC 기반 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 다양한 기판과 솔루션에 대한 프로세스 레시피 (recipe) 를 사용자 정의하고, 프로세스의 각 단계의 진행 상황을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. SEMITOOL SST 408은 신뢰할 수있는 photoresist 시스템이 필요한 프로덕션 환경에 이상적인 솔루션입니다. 강력한 설계와 직관적인 제어를 통해 효율성 향상, 프로세스 기능 향상 등을 원하는 기업에 적합한 선택이라 할 수 있습니다 (영문).