판매용 중고 SEMITOOL SST 305MI #9165782

ID: 9165782
웨이퍼 크기: 4"
Spray solvent tool, 4" Single stack 120 V, 60 Hz, 15 Amp.
SEMITOOL SST 305MI photoresist system (PRS) 은 고품질의 고정밀 마이크로 전자 장치를 개발하기위한 강력하고 신뢰할 수있는 플랫폼입니다. 이 photoresist 장비는 경제적이고 전체 서비스 처리 솔루션으로 설계되어 사전 증발/리소그래피 (lithography) 에서 사후/승인 (post-etch/approval) 에 이르는 프로세스를 지원합니다. SST 305MI는 초저온 기능을 갖춘 대용량 배치 처리 챔버입니다. 50 리터 챔버 볼륨이 특징이며 최대 325mm 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 플라즈마 에칭, 응축/증발, 스퍼터 증착 등 다양한 현장 처리 기능과 함께 사용할 수 있습니다. 이러한 고급 도구를 사용하여 SEMITOOL SST 305MI는 포괄적이고 낮은 진공, 고수율 포토 esist 프로세스를 제공합니다. 또한 SST 305MI (photoresist type) 및 코팅 매개변수를 포함하여 프로세스의 모든 측면에 대해 강력한 제어 기능을 제공하는 특허 사용자 인터페이스가 있습니다. 이 강력한 시스템을 통해 사용자는 photoresist process sequence 및 parameter를 사용자 정의하여 각 특정 장치의 정확한 처리 요구 사항을 충족할 수 있습니다. SEMITOOL SST 305MI의 하드웨어는 또한 사용자 친화적인 데이터 입력/출력, 자동 프로세스 제어 장치 (Automated Process Control Unit) 를 통해 관리 용이성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 원격 모니터링 및 제어를 위한 OPC 서버 (OPC Server) 도 장착되어 있어 프로세스를 실시간으로 완벽하게 제어할 수 있습니다. SST 305MI의 소프트웨어는 사용자가 PRS를 최대한 활용하기 위해 필요한 모든 것을 제공합니다. 사용자는 프로세스 시퀀스 및 매개변수를 설정하고 저장할 수 있으며, 분석 (analysis) 및 포스트 프로세스 (post-process) 옵션도 사용할 수 있습니다. 이 도구에는 프로세스 분석, 경보 알림 (alarm notification), 데이터 획득 (data acquisition) 등의 기능이 있는 응용 프로그램을 생성하는 데 사용할 수 있는 포괄적인 OPC 서버도 있습니다. SEMITOOL SST 305MI는 높은 수율, 높은 정확도 및 반복 성을 가진 마이크로 전자 장치를 빠르고 효율적으로 생산할 수 있습니다. 백엔드 (back-end of line processing), 어레이 프로세싱, 웨이퍼 레벨 패키징 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. SST 305MI는 사용이 쉽고 안정적이고 비용 효율적인 결과를 제공하는 강력한 포토레시스트 (photoresist) 자산입니다.
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