판매용 중고 SEMITOOL SRD #9198117

SEMITOOL SRD는 반도체 웨이퍼 처리 응용 프로그램을위한 고해상도 테스트 패턴을 제공하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 3D 상호 연결 및 MEMS 장치와 같은 새로운 애플리케이션에 대한 연구 개발에 이상적입니다. SRD 시스템은 최대 8 "(200mm) 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 고해상도 프로젝션 사진 촬영 장치, 웨이퍼 스테이지, 핫 및 콜드 플레이트, 스핀 코팅/건조 저항, 웨이퍼 난방/냉각 및 인라인 도량형 도구를 통합합니다. 이 기계는 고급 프로젝션 광학 (advanced projection optics) 과 웨이퍼 노출을 수행하기 위해 동력 XY 단계를 기반으로합니다. 투영 광학은 조정 가능한 렌즈 도구를 특징으로하며, 이는 근접 및 투영 리소그래피 모두에서 고해상도 패턴을 제공하도록 조정할 수 있습니다. 광학은 0.4 미크론까지 해상도로 노출 패턴을 생성 할 수 있습니다. 저항 스핀 코터/드라이어 모듈은 SEMITOOL SRD 에셋에 포함되어 있습니다. 그것 은 "포토레지스트 '용액 과 같은 화학 물질 을 방적 시키고," 웨이퍼' 표면 을 건조 시켜 "웨이퍼 '를 노출 시키도록 준비 할 수 있다. 통합 웨이퍼 난방/냉각 모델을 사용하면 노출 중 웨이퍼를 정확하게 온도 조절할 수 있습니다. 또한 SRD 장비에는 프로세스를 모니터링하고 고해상도 패턴을 보장하는 고급 인라인 (in-line) 도량형 도구가 포함되어 있습니다. 도량형 도구는 광학 이미징, 레이저 간섭법 (laser interferometry) 및 초점 현미경을 사용하여 석판 처리 중 노출 패턴을 측정하고 분석합니다. 이러한 도구를 사용하면 프로세스 제어를 향상시키고 SEMITOOL SRD 시스템의 성능을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로, SRD는 광범위한 반도체 웨이퍼 처리 응용 프로그램을위한 다목적, 고해상도 사진 촬영 장치입니다. 투영 광학, 저항 스핀 코터/건조기, 온도 조절 기계 및 인라인 도량형 도량형 도구는 모두 정밀도가 높은 세부 패턴을 생성하는 데 기여합니다.