판매용 중고 SEMITOOL SRD-880S #9287266

SEMITOOL SRD-880S는 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 고정밀 스테퍼, 습식 스테이션, 스피너 2 개, 레이저 정렬 장치 및 UV 핫 플레이트가 포함됩니다. 스테퍼에는 6 인치 작업 스테이지가 있으며 8 인치 작업 스테이지로 변경할 수 있습니다. 이를 통해 최대 300mm 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 사용할 수 있으며, 저전류 및 고전류 어플리케이션에 대해 매우 정밀하게 웨이퍼를 정렬할 수 있습니다. 젖은 역에는 DI 물, 탈 이온 화 (DI) 물 또는 정제로 가득 찬 2 개의 고가 탱크가 있습니다. 또한, 유해 액체 를 쉽게 정리 하고 처리 할 수 있는 배수구 가 있다. 기계의 두 스피너는 빠르고 효율적인 포토 esist 처리를 제공하도록 구성됩니다. 수평 스피너에는 포토 esist 및 건식 공정 화학 물질을위한 부식 내성 챔버 (부식 내성 챔버) 가 장착되어 있으며, 처리량을 빠르게 위해 최대 600psi의 스핀 속도를 사용합니다. 수직 스피너에는 2 개의 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 있으며, 이는 광전사 및 건조 공정 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 또한 두 스피너의 백에지 정렬을 조정하여 정확도를 높일 수 있습니다. SRD-880S의 레이저 정렬 도구는 코팅 및 에칭 전에 정밀 정렬에 사용됩니다. 이 장치에는 높은 정밀도 정렬 레이저, 다른 크기 웨이퍼를위한 필드 스톱 터렛 (field stop turret), 사용되는 특정 포토 esist에 더 잘 맞도록 조정 될 수있는 다양한 레이저 파장이 있습니다. 마지막으로, 에셋에는 고강도 원거리 UV 방사선을 제공하는 UV 핫 플레이트가 포함되어 있어 포토 esist를 빠르게 치료합니다. 이 UV 핫플레이트는 0.37 ~ 1.2 와트/cm2에서 조절 가능하여 다양한 포토 esist 제식을 수용합니다. 또한 UV 핫 플레이트는 작동 중 온도 균일성을 유지하도록 설계되었습니다. 전반적으로 SEMITOOL SRD-880S는 높은 정밀 정렬, 빠른 스핀 속도 및 균일 한 UV 치료법을 제공하는 포괄적 인 포토 esist 모델입니다. 이 장비는 저전류 및 고전류 제작 작업에서 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 이상적입니다.