판매용 중고 SEMITOOL SRD 880F #9192489

SEMITOOL SRD 885F는 다양한 응용 프로그램을 처리하도록 설계된 최첨단 포토레지스트 (photoresist) 장비입니다. 산업, 소비자, 연구 상황에서의 청소, 코팅, 이미지 프로세스에 이상적인 다용도 시스템입니다. 이 장치는 고품질, 정밀 엔지니어링, 고급 프로그래밍 및 자동화 기능을 결합하여 프로세스 매개변수를 정밀 제어할 수 있습니다. SEMITOOL SRD 880F는 최대 80 개의 웨이퍼를 실행할 수있는 대용량 듀얼 웨이퍼 피드 터릿을 갖추고 있습니다. 여기에는 4 개의 개별 솔레노이드 밸브와 프로세스 가스 패널이 있으며, 이를 통해 코팅 공정을 보다 정확하게 제어 할 수 있습니다. 자동화된 전면 도어 (front door) 를 사용하여 앞면 또는 옆면에서 빠르고 쉽게 기계에 액세스할 수 있습니다. SEMITOOL SRD 885F는 저용량 공정 챔버로, 효율성을 최적화하고 유해 배출량을 최소화하도록 설계되었습니다. 또한 온화하고 효과적인 청소를위한 총 3 개의 린스 (rinse) 욕조가있는 자동 습식 청소 공정이 특징입니다. 스핀 (Spin) 과 스프레이 코터 (Spray Coater) 를 사용하여 최적의 코팅 결과를 얻을 수 있으며 다이 온도를 추적하여 코팅 성능이 시간이 지남에 따라 떨어지지 않도록 합니다. SRD 880F에는 고급 다중 패턴 노출을 처리 할 수있는 매우 정확한 노출 헤드 (Exposure Head) 가 장착되어 있습니다. 통합된 패턴 생성기 도구 (Pattern Generator Tool) 를 사용하면 복잡한 패턴 형상을 쉽게 만들고 실행할 수 있으며 이미지 데이터 베이스 서버 (Image Data Base Server) 는 모든 이미지 관련 데이터를 체계화된 형식으로 저장하여 쉽게 액세스할 수 있습니다. 프로세스를 최적화하여 주기 시간 (cycle time) 과 효율적인 자원 사용을 가능하게 함으로써 SEMITOOL SRD 880F는 동급 내 모든 자산과 경쟁합니다. 다용도, 견고한 설계, 고급 자동화 기능을 통해 모든 산업, 소비자, 연구 환경을 위한 매력적인 솔루션이 될 수 있습니다.