판매용 중고 SEMITOOL SRD 880 #9248598

SEMITOOL SRD 880 Photoresist Equipment는 고급 반도체 장치 처리에서 프로세스 제어를 위해 설계된 완전한 통합 사진 촬영 시스템입니다. 이 장치는 반도체 포토레스 처리 (photoresist processing) 에서 정밀, 반복 가능성 및 신뢰성에 대한 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계 및 제작되었습니다. 이 기계에는 독특한 2 도어, 롤인 디자인의 챔버가 포함되어 있어 유지 보수 및 챔버 서비스를 위해 인테리어에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 이 공정 챔버에는 통합 스핀/스프레이 도구, 다중 격리 밸브, 자동 셔터 컨트롤러, 2 개의 레벨 밸런스 및 오염 방지 표면 및 전동식 로드 록이 있습니다. 이 자산은 또한 매우 깨끗하고, HEPA 필터링 된 배기 모델을 특징으로하며, 수율과 처리량을 최대화하도록 설계된 독립적 인 레시피 기반 프로세스 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 포토 esist 처리는 통합 된 스핀 스프레이 기능이있는 SRD 880 고유의 롤인 챔버에서 수행됩니다. 따라서 처리량 (throughput) 에 영향을 주지 않고 하나의 배치에 여러 개의 웨이퍼를 회전시키고 스프레이할 수 있습니다. 이 방에는 또한 독특한 격리 밸브 (isolation valve) 장비가 있어 공정 챔버에 오염이 없습니다. 두 레벨 밸런스 (Level-Balanced) 및 오염 없는 서피스 (Contaminate-Free Surface) 를 사용하여 각 웨이퍼가 동일한 수준의 노출에서 처리되도록 합니다. 자동 셔터 컨트롤러는 웨이퍼 노출을 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 또한 웨이퍼 노출의 정확하고 반복 가능한 타이밍을 수행 할 수 있습니다. 셔터 컨트롤러는 프로세스 컨트롤러 (process controller) 와 연동하여 높은 수준의 프로세스 제어 및 효율성을 제공합니다. 공정 컨트롤러 (Process Controller) 는 photoresist 처리의 빠르고 정확한 프로그래밍을 허용하는 레시피 기반 장치입니다. 환경 및 처리 조건이 바뀌더라도 각 웨이퍼 (wafer) 에 대해 일관된 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 프로세스 컨트롤러 (process controller) 는 완전히 프로그래밍이 가능하며 여러 프로세스 및 레시피에 대해 설정할 수 있습니다. 이를 통해 고수율 및 처리량을 모두 달성 할 수 있습니다. SEMITOOL SRD 880 Photoresist Machine은 고급 사진 분석 프로세스에 대한 정확한 제어 및 안정적인 성능을 제공합니다. 통합 스핀/스프레이 도구, 다중 격리 밸브, 자동 셔터 컨트롤러, 2 개의 레벨 균형 및 오염 없는 표면 및 레시피 기반 프로세스 컨트롤러; 자산은 반도체 소자 제조량을 향상시키는 한편, 사진 해설법 (photolithography) 공정의 비용과 시간을 줄입니다.