판매용 중고 SEMITOOL SRD-8300S #9298776

SEMITOOL SRD-8300S
ID: 9298776
빈티지: 2012
Spin Rinse Dryer (SRD) 2012 vintage.
SEMITOOL SRD-8300S는 완전 자동화 된 포토 esist 처리 장비입니다. 이 "시스템 '은" 마이크로일렉트로닉', 박막 및 기타 관련 산업 의 가공 을 위하여 얇은 층 의 광전자 물질 들 을 여러 가지 기판 에 증착 시키도록 설계 되었다. 대부분의 환경에서 최적의 성능을 위해 단면 (single-side) 및 양면 (double-side) photoresist 프로세스를 모두 처리할 수 있습니다. SRD-8300S는 정확한 코팅 결과, 더 높은 수익률, 더 엄격한 필름 두께 제어를 제공하는 대량의 진공 및 비활성 가스 (inert gas) 기능을 갖추고 있습니다. SEMITOOL SRD-8300S는 2 개의 독립적 인 사전 프로그래밍 된 시퀀스 제어 시스템과 3 "KS Series Edge Bead Remover를 사용하여 스핀 코팅 프로세스 동안 정확한 가장자리 구슬 제거를 수행합니다. 이 장치에는 또한 3 가지 표준 로봇 암 (robot arm) 구성 옵션과 사용자의 처리 요구에 맞는 맞춤형 턴키 솔루션을 제공하는 여러 프로세스 모듈 (process module) 옵션이 있습니다. SRD-8300S는 PID 온도 수준에서 호퍼 제어 (옵션) 를 허용하는 완전 조절 가능한 호퍼 머신 (hoper machine) 과 같은 몇 가지 고유 한 기능을 제공합니다. 또한 프로그래밍 가능한 진동 플랫폼 (programmable vibration platform) 과 재료 존재 모니터링 도구 (material presence monitoring tool) 를 통해 기판에서 보다 정확하고 균일 한 코팅 분배를 제공하며 사용자들이보다 일관된 포토 esist 코팅을 얻을 수 있습니다. 또한, 자산의 고급 진공 기능 및 비활성 가스 대기 (Inert Gas Atmosphere) 는 공백을 최소화하고 최소한의 물질 폐기물을 보장하는 데 도움이됩니다. SEMITOOL SRD-8300S 는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하도록 설계되었으며, 직관적인 인터페이스를 통해 모든 모델 구성요소를 신속하게 액세스하고 쉽게 제어할 수 있습니다. 이 장비에는 다양한 데이터 스토리지 (data storage) 옵션도 포함되어 있으며, 향후 실행을 위해 프로세스 레시피를 저장, 회수할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 시스템은 또한 저항 레시피를 자동으로 최적화 할 수있는 SEMITOOL Smart Process Module 제품군과도 호환됩니다. 결론적으로, SRD-8300S는 정밀 포토 esist 처리가 필요한 회사에 적합한 선택입니다. 고급 기능, 견고한 디자인, 직관적인 인터페이스 (interface) 를 통해 이 장치는 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 와 박막 (thin film) 산업의 까다로운 환경에 이상적인 도구입니다.
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