판매용 중고 SEMITOOL SRD-8300S #9289497

SEMITOOL SRD-8300S
ID: 9289497
빈티지: 2012
Spin Rinse Dryer (SRD) 2012 vintage.
세미툴 SRD-8300S (SEMITOOL SRD-8300S) 는 최고 수준의 생산성과 성능을 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 처리 장비로, 생산 프로세스에 이상적인 도구입니다. 원하는 패턴을 기판에 에치하기 위해 실리콘 웨이퍼 (silicon wafers) 또는 글래스 (glass) 와 같은 기판에 포토 esist를 적용하고 제거하는 SRD (spin-rinse-dry) 프로세스를 사용합니다. SRD-8300S에는 스프레이 모듈과 스핀 드라이어 모듈이 모두 포함되어 있습니다. 스프레이 모듈은 고압 공기 (high-pressure air) 를 사용하여 원하는 기판에 얇은 포토 esist 층을 적용합니다. 그런 다음 스핀-드라이어 (spin-dryer) 모듈을 사용하여 표면에 포토 esist를 균등하게 배포하고 초과를 제거합니다. 스핀 드라이어 (spin-dryer) 는 최고 300rpm의 속도로 작동 할 수 있으며, 빠르고 신뢰할 수있는 포토 esist 응용 프로그램 및 제거가 가능합니다. SEMITOOL SRD-8300S는 또한 완전하게 자동화된 프로세스 제어 시스템을 통해 정확하고 반복 가능한 처리를 제공합니다. 이 장치는 기판 청소 과정뿐만 아니라 포토 esist 응용 프로그램 (photoresist application) 및 제거 프로세스를 제어 할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 공구를 실행할 때 가장 높은 수준의 안전을 보장하는 데 도움이 되는 여러 안전 (Safety) 연동이 포함되어 있습니다. SRD-8300S 는 또한 여러 개의 워크플로우 기반 레시피 (레시피) 를 갖추고 있어, 운영자가 몇 가지 간단한 단계로 각 프로세스에 대해 원하는 애플리케이션/제거 방법을 선택할 수 있습니다. 또한 RS-232, Ethernet, USB 등 다양한 입/출력 인터페이스를 통해 다른 장비에 연결할 수 있습니다. 이를 통해 기존 운영 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다. 전반적으로, SEMITOOL SRD-8300S는 정확하고 반복 가능한 프로세스와 프로덕션 프로세스의 최대 가동 시간을 제공하는, 강력하고 안정적인 photoresist 처리 모델입니다. SRD-8300S는 자동화된 제어 시스템, 다중 워크플로우 기반 레시피 (레시피), 광범위한 입/출력 인터페이스 (입력/출력 인터페이스) 를 통해 비용 효율적이고 효율적인 포토레지스트 (photoresist) 처리 솔루션을 찾는 고객에게 탁월한 선택입니다.
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