판매용 중고 SEMITOOL SRD-8300S #9272599

SEMITOOL SRD-8300S는 초미세 마이크로 장치의 대량 생산을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. Wafer 처리를 위한 고급, 효율성, 신뢰성이 뛰어난 시스템입니다. 레지스트 처리, 베이크 플레이트, 난방판, 스프레이 노즐, 프리 스핀/프리 베이크 장치 및 선택적으로 습식 벤치를위한 단일 플립 오픈 챔버가있는 통합 된 하이브리드 디자인이 특징입니다. SRD-8300S 는 웨이퍼 로어 (wafer) 프로세스 카세트를 사용하여 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼 및 기판을 적절하게 정렬합니다. 강력한 공기 베어링 모터와 안전한 정렬을위한 진공 스핀들 (vacuum spindle) 로 구동됩니다. 이 장치에는 손쉬운 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위해 자동 웨이퍼 핸들링 머신 (wafer handling machine) 과 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있습니다. SEMITOOL SRD-8300S는 새로운 기술 toallow clean, 균일하고 정확한 포토 esist 응용 프로그램을 갖추고 있습니다. 저하 스프레이 모드를위한 새로운 5 인치 Quartz 코팅 창과 공기 원자 건조 입자를위한 선택 가능한 포트가있는 새로운 Micro-Fine 이미지 렌즈 (Micro-Fine image Lens) 가 있습니다. 프로세스 사용자 지정을 위해 사용자가 선택할 수 있는 실행 프레임 (run frames) 옵션이 있으며, 기타 기능에는 수동/자동 모드 스위치 및 자체 진단 도구가 있습니다. 이 자산은 또한 강력한 컨트롤러 (controller) 를 통합하여 온도 및 조건을 모니터링하여 프로세스의 균일성과 반복성을 보장합니다. 이 제품은 중요한 매개변수를 실시간으로 표시하고, PC 또는 기타 독점 자동화 장비와의 네트워킹을 위한 표준 RS-232 직렬 포트를 제공합니다. 또한 독특한 이중 방향 노즐을 특징으로하여 정확하고 균일 한 스프레이 제팅이 가능합니다. SRD-8300S는 고급 웨이퍼 처리를 위해 안정적이고 효율적인 포토리스 스트 모델입니다. 고성능 공기 베어링 모터, 쿼츠 코팅 창 및 Micro-Fine 이미지 렌즈 (Micro-Fine image Lens) 를 통해 탁월한 균일성과 반복 성을 제공합니다. 또한, 자동화 된 웨이퍼 처리 및 컨트롤러 (controller) 는 프로세스의 균일성에 대한 온도 및 조건을 모니터링합니다. 또한, 사용자가 선택할 수있는 런 프레임 (run frames) 옵션으로, 장비가 포토 esist 응용 프로그램 및 초미세 마이크로 장치 대량 생산에 이상적인 선택이됩니다.