판매용 중고 SEMITOOL SRD 440 #9223322
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ID: 9223322
빈티지: 1997
Spin Rinse Dryer (SRD)
Model no: 440S31EML
Single chamber
Maximum rotor substrate diameter: 4"
Compliant poly cabinet: FM 4910
Brushless controller: PSC-101
Quick disconnect (QD) rotor: 3"
PFA Cassette (A82M0215)
Includes:
DIW
N2
Exhaust
Power supply: 120 VAC, 60 Hz
1997 vintage.
SEMITOOL SRD 440은 MEMS, 반도체 및 광전자 산업에서 사용되는 포토 esist 레이어를 정확하게 노출, 개발 및 스트립하도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 고급 4 빔 Coherent Visible Light Source와 센서 및 정확한 정렬 및 초점 제어를 지원하는 컴퓨터 피드백 시스템 (Computerized feedback System) 이 특징입니다. 4 개의 빔에는 미세 조정 노출 요구 사항을 위해 개별 강도 컨트롤이 있습니다. 또한, 소프트웨어에는 장치가 유휴 상태일 때 자동 마스크 정렬을 위한 화면 보호기 (screensaver) 모드가 포함되어 있습니다. 광학 장치에는 렌즈 교정 균일성을 최대화하는 플랫 필드 렌즈가 통합되어 있습니다. 전면 패널의 카메라를 사용하면 마스크 정렬 과정을 쉽게 시각화할 수 있습니다. 또한 SRD 440에는 정확성과 반복성을 보장하는 2 개의 축과 2 개의 레벨로 구성된 정밀 웨이퍼 포지셔닝 단계가 있습니다. 스테이지 (stage) 는 웨이퍼를 포커스 위치로 정밀하게 조정하여 완료된 제품의 라인업 패턴을 보장합니다. 또한 최대 25 개의 웨이퍼를 자동으로 캡처하고 로드하여 수동 처리 시간 (manual handling time) 과 관련 오류 (associated error) 를 줄이는 독특한 자동 웨이퍼 로드 기능이 있습니다. 이 플랫폼에는 자동화된 프로세스 선택기 (process selector) 가 포함되어 있어 개발 시간을 신속하고, 선택하고, 계산할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 인터페이스를 사용하면 공장에서 다른 툴과 쉽게 통합할 수 있습니다. SEMITOOL SRD 440 (SEMITOOL SRD 440) 은 안정적이고 정밀한 포토레지스트 머신과 손쉬운 유지 관리 및 작동을 결합하여 고급 리서치 및 프로덕션 환경을 위한 완벽한 포토레지스트 툴입니다. 세부적인 미세조작 (microfabrication) 에서부터 대규모 생산 (production) 에 이르기까지 다양한 프로세스를 처리할 수 있습니다. 효율적인 작동과 사용자 친화적 제어로 이 포토레시스트 (photoresist) 자산이 처리량 및 품질을 높일 수 있습니다.
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