판매용 중고 SEMITOOL SRD 270 #9135998

ID: 9135998
빈티지: 1995
Table-top spin rinse dryer Controller: PSC-101 Rotor actual balanced fluoroware carrier: 4”,5” and 6“ (4) Bolt rotor assembly Resistivity probe in drain 220 VAC, 50/60 Hz 1995 vintage.
SEMITOOL SRD 270 photoresist 장비는 완전 자동화 된 인라인 화학 공구로 photoresist, PCB 및 Thin Film Magnetic Media와 같은 민감한 재료를 효율적이고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 단일 챔버 설계는 생산성과 비용 효율성을 극대화하는 한편, 더 복잡한 멀티 챔버 (multi-chamber) 모델로 종종 볼 수있는 결함의 위험을 최소화합니다. 이 시스템은 효율적인 처리를 위한 대용량 (High-Capacity), 고압 (High-Pressure) 전달 장치 (Delivery Unit) 및 다양한 솔루션을 통해 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 시스템은 멀티 프로세스 제어 센터 (Multi-Process Control Center) 와 자동화된 프로세스 모니터 (Automated Process Monitor) 를 포함한 독점적인 제어 수준을 갖추고 있습니다. 이 모니터에는 작동 담당자에게 모든 프로세스 불규칙성 (process imrularity) 을 경고할 수 있는 실시간 센서가 포함되어 있어 신속하게 교정 작업을 수행할 수 있습니다. 이 도구는 기존 개발과 고급 마이크로 에치 (micro-etch) 프로세스와 호환되며, 높은 수준의 정밀도, 빠른 처리 시간, 향상된 안전 (safety) 을 제공합니다. SRD 270 은 다양한 솔루션을 제공하며, 습식 (wet) 및 건식 (dry) 에칭 프로세스뿐만 아니라 스트리핑 가능한 다중 저항 저항을 제공합니다. 입자 축적을 방지하기 위해 독특한 린스 배달 에셋이 장착되어 있으며, 온도 및 습도 제어 (Humidity Control) 를 통해 연속성과 안정성을 보장합니다. 강력한 수직 리프트 플랫폼 (Vertical Lift Platform) 은 가공선을 쉽게 액세스 할 수있는 한편, 클린 룸 (Clean Room) 시설의 요소로부터 긍정적 인 격리를 계속 유지할 수 있습니다. 이 모델은 정상, 중력 공급 (gravity-feed) 프로세스 흐름을 수용하며, 정확한 계량과 다양한 구성 및 연결을 모두 가능하게 합니다. 또한 장벽 기술을 활용하여 교차 오염을 최소화하고 유지 보수 시간을 줄입니다. SEMITOOL SRD 270은 최대 4 개의 인라인 프로세스 선박을 수용 할 수 있으며, 최대 효율성을 위해 혼합 로드 구성을 수용합니다. 자체 문제 해결 및 오류 보고 기능을 제공하며, 라인 레벨 (line-level) 프로그래밍을 통해 저자와 프로세스 최적화를 지원합니다. SRD 270 은 모든 포토레시스트 (photoresist) 프로세서에 이상적인 장비로, 단일 신뢰성 시스템에서 뛰어난 신뢰성, 반복성, 정확성, 생산성을 제공합니다. 즉, 여러 대의 선박과 복잡한 프로세스 시스템을 필요로 하지 않으며, 여러 프로세스를 관리하는 기능 (예: 대용량 작업에 적합) 을 필요로 합니다.
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