판매용 중고 SEMITOOL SRD-240S-6-1-E-ML #9366563
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ID: 9366563
웨이퍼 크기: 2"
Spin Rinse Dryer (SRD), 2"
Power supply: 220 VAC, Single phase, 3 W, 13 A, 50-60 Hz, 5 kW.
SEMITOOL SRD-240S-6-1-E-ML Photoresist Equipment (SEMITOOL SRD-240S-6-1-E-ML Photoresist Equipment) 는 자동 웨이퍼 스트립, 저항 및 껍질 시스템으로, 반도체 및 IC 기술의 벤더 및 개발자에게 다양한 웨이퍼 응용 프로그램의 효율적이고 정확하고 비용 효율적인 예금 및 스트립 포토 esist. 이 장치는 1-6개의 웨이퍼 용량을 갖는 SP (strip-and-peel) 모듈을 사용합니다. 웨이퍼는 먼저 진공 내시경이 존재하는 카세트 (cassette) 또는 꼬투리 (pod) 에 의해 고정된다. 그런 다음, 포토 esist를 버리는 프레임 위치로 이동합니다. 저항은 통합 된 R2 기계 (integrated R2 machine) 를 통해 웨이퍼 평면에 평행 한 방향으로 웨이퍼 표면에 정확하게 롤링됩니다. 그런 다음 "레지스트 '를 몇 초 동안 그대로 두어" 레지스트' 가 "웨이퍼 '표면 으로 들어갈 수 있게 한다. 이 설정은 주변 온도에서 섭씨 200도 이상의 온도까지 조절 가능한 온도에서 수행 할 수 있습니다. 온도는 장치 유형 또는 리소그래피 유형별로 조정할 수도 있습니다. 이 도구는 SRD-240S-6-1-E-ML의 통합 PEELER 자산 (2 개의 다른 껍질 기술을 사용하도록 설계) 을 사용하여 웨이퍼에서 포토 esist의 전체 스트립을 자동으로 수행 할 수 있습니다. 세제 및 용매 기반. 용매 기반 프로세스는 하위 라이브 레벨 구조와 접합 기술 용 세제 기반 프로세스에 사용됩니다. 또한, 이 모델은 습기를 추가로 제거하는 데 사용할 수있는 내장 건조기로 설계되었습니다. 건조 장치 는 또한, 제거 하기 위한 이상적 인 저항 상태 를 얻기 위하여 환경 을 미리 조종 하는 데 사용 될 수 있다. 그렇다. 사용자는 온도, 흐름 속도, 회전 속도 (rate of rotation) 와 같은 프로세스 매개변수를 조정하여 원하는 결과를 얻을 수도 있습니다. SEMITOOL SRD-240S-6-1-E-ML에는 통합 결함 검사 장비가 있으며, 사용자는 웨이퍼 결함을 감지하고 측정 할 수 있으며, 이는 프로세스 결과를 제어하는 데 매우 중요합니다. 또한, 프로세스 매개변수에 대한 실시간 모니터 (real-time monitor) 를 사용하여 프로세스가 최적으로 실행되도록 합니다. SRD-240S-6-1-E-ML은 모두 반도체 및 IC 기술 제조업체를위한 훌륭한 포토 esist 장치입니다. 이 기계는 효율적이고, 정확하며, 비용 효율적이며, 다양한 유형의 프로세스의 요구에 맞게 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 도구는 사용자가 Wafer 준비 응용 프로그램에서 최상의, 최고 품질의 결과를 얻을 수 있도록 합니다.
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