판매용 중고 SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML #9296266

SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML은 재료의 광석기 처리를 위해 완전히 자동화 된 장비입니다. PCB (Printed Circuit Board) 및 기타 반도체 소자의 생산과 같은 중대형 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 습식 포토레스 (Photoresist) 시스템입니다. 이 장치는 자재를 처리하기 위해 여러 구성 요소를 결합하여 산업용 제작 (fabrication) 작업을 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다 (영문). 기계의 중심부에는 SEMITOOL의 SRD-2405-3-1-E-ML 포토 esist 전달 및 스핀 스테이션이 있습니다. 이 모듈에는 회전식 척 (rotating chuck) 과 내장 스프레이 헤드 (spray head) 가 장착되어 있어 포토 esist를 원자 화하여 재료 표면에 전달합니다. 이 과정은 후속 처리를 위해 포토 esist의 균일 한 코팅을 산출합니다. 이 스테이션에는 환기 도구 (ventilation tool) 가 내장되어 있으며, 이는 척 주변의 기류를 검토하여 포토 esist의 증착을 보장합니다. 자산에는 이중 챔버 개발자 탱크도 포함되어 있습니다. 이 "탱크 '에는 기판 에서" 포토레지스트' 를 개발 하거나 제거 하는 데 도움 이 되는 개발자 용액 이 들어 있다. 또한이 모델에는 이중 노즐 에치 스테이션이 장착되어 있습니다. 이 역에는 화학 물질을 에칭하기위한 2 개의 개별 탱크가 있으며, 이를 통해 에칭 프로세스의 유연성이 향상됩니다. 에치 스테이션 (etch station) 의 일부로서, 장비에는 고압 펌프 및 노즐 (nozzle) 이 장착되어 재료의 효과적인 에칭이 가능합니다. SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML에는 컨베이어 및 로봇 암 시스템도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 미리 정해진 경로 (route) 를 따라 재료를 자동으로 이동하고, 추가 처리를 위해 기판을 배치할 수 있습니다. 이 장치는 단일 실행으로 여러 기판을 처리하여 효율적인 처리량 (throughput) 과 품질 (quality) 결과를 제공합니다. 마지막으로, 머신에는 포토레시스트 재생 도구 (photoresist reclaim tool) 가 장착되어 있는데, 에칭 중에 기질에서 제거 될 때 포토레시스트를 수집, 필터링 및 저장하여 재활용 및 재사용할 수 있습니다. 이를 통해 비용을 절감할 수 있고, 구입해야 하는 포토레시스트 (photoresist) 의 양도 절감할 수 있습니다. 전반적으로 SRD-2405-3-1-E-ML 포토레시스트 (photoresist) 자산은 중대형 사진 촬영 작업을 위한 비용 효율적인 자동화 솔루션입니다. 많은 구성 요소 (component) 를 제공하여 재료의 처리 효율을 향상시켜 처리량 (throughput) 과 품질 (quality) 을 높일 수 있습니다. 게다가, 회수 (reclaim) 모델은 비용을 절감하고, 구매해야 하는 포토리스 (photoresist) 의 양을 줄여, 장비를 업계 제작 작업에 더욱 매력적인 옵션으로 만듭니다.