판매용 중고 SEMITOOL SPS-2000 #9284262

SEMITOOL SPS-2000은 웨이퍼 컨디셔닝, 드라이 스트립, 스핀 및 스프레이 코팅 작업을 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼의 화학적 기계적 처리에 대한 오늘날의 고정밀 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장치는 최대 6 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 프로그래밍 가능한 기판 공정 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 컨트롤러는 최대 16 개의 프로그램을 실행할 수 있으며, 각 프로그램은 최대 32 개의 세그먼트로 구성됩니다. 또한 사용자 정의 프로그램 세그먼트 (segment) 와 매개변수 조정 (parameter adjustment) 을 제공하여 사용자가 최소한의 인적 개입으로 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 SPS-2000은 스프레이 작업 중에 웨이퍼 중단을 감지할 수 있습니다. 정밀 스프레이 헤드는 SEMITOOL SPS-2000의 중요한 기능입니다. 스프레이 헤드는 5 축 머시닝 공정을 사용하여 생성 된 다양한 크기의 노즐 (nozzle) 로 설계되었습니다. 이것은 균일 한 필름을 달성하기 위해 원하는 스프레이 패턴을 만드는 데 도움이됩니다. 스프레이 헤드는 수동 또는 모터 구동 공정으로 높이와 각도 (angle) 에 따라 조정이 가능합니다. 드라이 스트립 응용 프로그램의 경우, SPS-2000은 2 채널 버전 버블러가있는 습식 벤치 (wet-bench) 를 특징으로하여 이온 화 된 물의 온도와 유량을 정확하게 제어합니다. 이렇게 하면 웨이퍼와 접촉할 때 정밀도 에칭 동작이 보장되며, 와퍼에 대한 접촉 스쿠버 패치 (contact-scuba patch) 나 핫플레이트 손상 없이 원하는 박막 프로파일을 달성할 수 있습니다. 이 기계 에는 "핫플레이트 '를" 웨이퍼' 에 접하는 것 을 방지 하는 자동 "핫플레이트 '탐지 기능 이 있어서 잠재적 인 손상 을 없앨 수 있다. 또한 SEMITOOL SPS-2000에는 2200 rpm의 속도 정확도를 제공하는 통합 고속 스핀 도구가 포함되어 있습니다. 듀얼 베어링 디자인의 내구성이 뛰어난 모터 하우징 (motorhousing) 과 향상된 정밀 성능을 위한 균형 잡힌 외부 휠 (external wheel) 이 특징입니다. 에셋에 노이즈 필터 (옵션) 를 추가하여 환경 노이즈를 줄이고 코팅 작업의 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 요약하자면, SPS-2000은 사용자가 정확한 웨이퍼 컨디셔닝, 드라이 스트립, 스핀 및 스프레이 코팅을 수행 할 수 있도록 다재다능하고 고급 포토 esist 모델입니다. 조정 가능하고 정확한 스프레이 헤드, 버블러 장비, 스핀헤드 (spinhead) 및 핫플레이트 방지 기능과 함께 맞춤형 프로그램 및 매개 변수를 제공합니다. 이러한 이유로, 이 시스템은 신뢰할 수 있고 정확한 포토레지스트 (photoresist) 장치가 필요한 제조업체에 적합한 선택입니다.