판매용 중고 SEMITOOL Spectrum #9384195

SEMITOOL Spectrum
ID: 9384195
Spray solvent system.
세미툴 스펙트럼 (SEMITOOL Spectrum) 은 반도체 장치 제조에서 가장 높은 수준의 제어를 제공하기 위해 설계된 특화된 포토레스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 습식 처리 방법 (wet processing method) 과 건조 프로세스 (dry process) 를 모두 사용하여 레이어 두께와 모양을 완벽하게 제어하며, 매우 복잡한 레이어를 제작하여 매우 상세한 집적 회로를 제공합니다. 이 장치는 photoresist의 RVD (Reactive Vapor Deposition) 를 사용하는데, 이는 결함이 매우 낮은 두꺼운 Photoresist 레이어를 생성하는 데 사용될 수 있기 때문에 IC 생산에 매우 유리합니다. 포토 esist 증착 과정은 두 가지 주요 단계로 나뉘며, 각 단계는 습식 (wet) 또는 건조 (dry) 공정으로 수행 될 수 있습니다. 제 1 단계 에서는 평탄 한 기판 을 원하는 "포토레지스트 '로 입힌 다음, 두 번째 단계 를 거쳐" 포토레지스트' 를 원하는 "패턴 '으로 전환 시킨다. 스펙트럼 (Spectrum) 의 활성화 기술은 photoresist 레이어의 두께를 제어하는 능력입니다. 레이어의 두께는 증착되는 포토레시스트 증기의 양을 제어함으로써 정확하게 제어할 수 있으며, 이를 통해 IC (IC) 는 매우 세밀한 디테일로 설계될 수 있습니다. 또한 레이어 두께를 조정하여 두께가 다른 기판 (substrate) 을 생성할 수 있습니다. 또한, SEMITOOL 스펙트럼 머신 (SEMITOOL Spectrum machine) 은 포토 esist 생산에 필요한 건조 및 습식 프로세스를 관리하기위한 자동 제어 도구도 제공합니다. 이로써 광저항 층 (photoresist layer) 에 걸쳐 놀랍도록 균일 한 두께 (thickness) 를 생산할 수 있으며, 완료된 집적 회로의 외관을 최고 수준으로 제어할 수 있습니다. 광저항 (photoresist) 프로세스에 대한 스펙트럼 (Spectrum) 의 제어는 레이어 설계에서 전통적인 방법으로 불가능한 정밀도를 제공합니다. 자산의 특징을 통해 몇 초 안에 세부 설계 (Detailed design) 가 돌연변이 될 수 있으며, 오류를 신속하게 재생산하여 대량 생산에 이상적인 모델로 만들 수있는 기능을 제공합니다. 세미툴 스펙트럼 (SEMITOOL Spectrum) 은 건조 (Dry) 와 습식 (Wet) 프로세싱의 장점을 결합하여 놀라운 속도와 정확도로 상세한 집적 회로를 생산할 수 있습니다. 건조· 습윤 과정 의 정확 한 침착 조절 과 관리 는 전통적 인 "포토레지스트 '처리 로 불가능 할 정도 의 정확도 를 갖게 한다. 이 장비는 높은 안정성과 성능을 지닌 복잡한 집적회로 (integrated circuit) 의 생산에 필수적인 도구입니다.
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