판매용 중고 SEMITOOL Spectrum #9355653

세미 툴 스펙트럼 (SEMITOOL Spectrum) 은 화학적 및 물리적 공정과 화학 증기 증착 (CVD) 을 결합하여 다양한 기질에 평평하고 균일 한 감광제 박막을 만들도록 설계된 photoresist 장비입니다. 박막 증착, 평면 화 및 저항 제거를위한 일체형 플랫폼으로 설계되었습니다. 이 시스템은 무선 주파수 (RF) 플라즈마를 사용하여 최적의 저항 범위, 두께 및 균일성에 대한 화학 반응을 시작합니다. 스펙트럼은 실리콘 웨이퍼, 광학 유리, 갈륨 비소 및 세라믹을 포함한 여러 기판을 수용하도록 설계되었습니다. RF 플라즈마 소스뿐만 아니라 진공 챔버, 고성능 대량 전송 장비, 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 제어 시스템 (Control System) 도 갖추고 있습니다. 이 장치는 CVD와 포토 에칭 (photo-etching) 의 조합을 사용하여 박막 포토 esist를 기판에 균일하고 정확하게 증착시킵니다. RF 플라즈마 (RF plasma) 는 표면에 광물질 필름의 평평하고 균일 한 필름을 생성하는 화학 반응을 시작한다. 플라스마는 또한 장치의 성능에 영향을 줄 수있는 공백, 긁힘, 잔류 물을 제거하는 데 도움이됩니다. 박막 (thin-film) 을 적용하면 기질이 평면화 단계 (planarization stage) 로 옮겨져 필름이 레벨이 되고 부드럽게 만들어집니다. 평면 (planarization) 단계는 에치 프로세스를 사용하여 표면의 잔류 또는 불규칙성을 제거합니다. 그런 다음, 기질은 광전자가 치료 된 진공 챔버 (vacuum chamber) 에 배치되어 표면에 균일하고 일관된 박막 (thin-film) 을 생성합니다. 그런 다음 기판을 제거 할 준비가되었습니다. 이것은 습식 에칭 또는 레이저 제거로 수행 할 수 있습니다. 습식 에칭은 일련의 화학 물질을 사용하여 광물질 (photoresist) 을 표면에서 용해시킵니다. "레이저 '절제 는 감광제 를 표면 으로부터 부드럽게 증발 시키기 위해 특수" 레이저' 를 사용 한다. 마지막으로, 기판은 기판이 장치 제조에 적합하도록 테스트됩니다. 이 작업은 디바이스에서 전기적 테스트 (electrical test) 를 실행하여 디바이스가 제대로 작동하는지, 디바이스에 결함이 없는지 확인합니다. SEMITOOL 은 테스트를 통과한 모든 디바이스가 상업적 용도로 사용할 수 있도록 합니다. SEMITOOL Spectrum (SEMITOOL Spectrum) 은 고밀도 장치를 균일하고 일관성 있고 신뢰할 수있는 커버리지를 제공하도록 설계된 매우 효율적이고 정확한 포토 esist 머신입니다. 결과 장치의 최적의 성능을 보장하면서 기판에 균일 한 포토레시스트 레이어 (photoresist layer) 가 필요한 응용 프로그램에 이상적입니다.