판매용 중고 SEMITOOL Spectrum #9232917

SEMITOOL Spectrum (SEMITOOL Spectrum) 은 다양한 photoresist 재료를 빠르고 정확하게 패턴 화 할 수있는 photoresist 장비입니다. 각 구성 요소 (각각 고유 한 기능) 로 구성되며, 이를 통해 웨이퍼의 효율적인 배치 (batch) 처리가 가능합니다. 스펙트럼 (Spectrum) 은 처리량 및 가스 분산 증가를위한 더 큰 공정 챔버 (process chamber), 더 높은 품질의 패턴화에 대한 향상된 저온 포토 esist 호환성, 개발 및 예금 균일성에 대한 향상된 제어 등 모든 기능을 자랑합니다. 프로세스는 전처리 모듈로 시작합니다. 이곳은 웨이퍼를 청소하고 사전 처리하는 곳입니다. 그런 다음 포토 esist로 코팅됩니다. 다음으로 노출 모듈로 이동합니다. 여기서, 웨이퍼는 프로그래밍 된 패턴 광원에 노출된다. 노출 후 웨이퍼는 개발자 모듈로 전송됩니다. 이것 은 노출 된 광전물질 이 화학적 으로 발달 된 곳 으로서, 경량 반응성 화학 물질 이 그 형태 에 따라 굳어지거나 용해 될 수 있다. 그렇다. 포토 esist를 개발 한 후, 웨이퍼는 플라즈마 에칭 모듈로 전달된다. "플라즈마 '를 사용 하여" 에칭' 모듈 은 "웨이퍼 '표면 으로부터 멀리 떨어진 물질 을 증발 시킨다. 이로 인해 패턴화 된 포토 esist 레이어가 생성됩니다. 마지막으로, 모듈에는 드라이 에치 모듈 (dry-etch module) 이 포함되어 있으며, 이 모듈은 가스, 이온화 된 입자 및 전기 전압의 조합을 사용하여 원치 않는 포토 esist 잔기를 제거합니다. SEMITOOL Spectrum은 기판 및 photomask 재료의 다양한 유형과 치수를 수용 할 수 있습니다. 이 시스템에는 마스크 정렬을 위한 매우 정밀한 Leica (tm) 기술이 적용되었으며, 웨이퍼에 여러 이미지를 정확하게 노출할 수 있습니다. 또한이 장치는 균일 한 기판 및 포토 esist 처리, 빠른 웨이퍼 투 기판 로딩, 낮은 기판 처리 각도 및 진공 클램핑 기술을 제공합니다. 이 포토 esist 머신은 또한 프로그래밍이 가능하고 사용자 정의가 가능합니다. 사용자는 수행 단계 순서, 속도, 온도 범위, 압력 수준, 기타 세부 사항 등을 선택할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 Spectrum은 대용량, 정밀 포토 esist 처리에 적합한 선택 사항입니다.