판매용 중고 SEMITOOL Spectrum #9124180

SEMITOOL Spectrum은 반도체 및 집적 회로 제품의 photoresist 처리를 위해 설계된 장비입니다. 이 시스템은 습식 벤치 시스템 (Wet Bench Systems) 과 사내 전용 포토레지스트 (Photoresist) 프로세서의 성능과 비용 사이의 격차를 해소하도록 설계되었습니다. 이 장치는 다양한 응용 프로그램에 적합한 다양한 기능과 기능을 제공합니다 (영문). 스펙트럼에는 2 단계 배치 오븐과 2 개의 맞춤형 파우더 모듈이 포함되어 있으며, 가변, 탄화수소 불포함 터널, 정확도 및 처리량 증가를위한 추가 5cm 등이 있습니다. 기계의 온도 범위는 39 ~ 600 ° C로, 조종 된 질소 대기이며 배치 오븐 당 최대 20 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 툴은 다양한 프로그래밍 가능한 옵션 (옵션) 을 제공하여 고객이 개인 요구에 맞게 자산을 사용자 정의할 수 있도록 합니다. 여기에는 솔루션 프로파일, 시퀀스별 설정, 현장 전기 필드 튜닝, 확산 제어 및 비휘발성 메모리가 포함됩니다. 이 모델은 고정밀 고온의 사진 방지 코팅 성능을 위해 설계되었습니다. 정확한 프로세스 제어를 가능하게하기 위해 0.02µm 스텝 크기 해상도와 동적 해상도 설정 (Dynamic Resolution Settings) 을 갖춘 0.5 äm의 정확도를 제공합니다. 또한, 장비의 온도는 웨이퍼 및 챔버에서 ± 0.3 ° C 미만입니다. 또한 SEMITOOL Spectrum 의 기능은 고급 진단 및 유지 관리 기능 (프로세스 및 챔버 진단 포함) 과 예측 유지 관리 (Predictive Maintenance) 를 통해 다운타임을 최소화합니다. 이 시스템은 또한 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 인터 록 (Interlock) 이 내장되어 있으며, 위험 물질로 인해 운영자가 부상을 입지 않도록 보호하며 압력 및 진공 구호 시스템이 있습니다. 또한, 장치 설명서 라이브러리는 운영자가 문제를 진단할 수 있도록 지원합니다. 스펙트럼 (Spectrum) 은 반도체 및 집적 회로 제품의 포토 esist 처리를 위해 안정적이고 효율적인 기계입니다. 이 기능은 사용자에게 매우 경제적인 선택입니다.