판매용 중고 SEMITOOL Spectrum 300 #9384200

SEMITOOL Spectrum 300은 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 첨단 포토 esist 처리 장비입니다. 자동화되고 사용자 친화적인 운영 방식의 실리콘 웨이퍼 (silicone wafer) 처리를 위한 동급 최고의 성능을 제공합니다. 이 시스템에는 독특한 열 가열 장치 (thermal heating unit) 가 장착되어 있어 포토레스 처리 주기의 각 단계를 정확하게 조정하고 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이 기계는 프로세서 헤드 (프로세서 헤드), 프로세서 챔버 (프로세서 챔버) 및 제어판 (제어판) 의 세 가지 구성 요소로 구성됩니다. 프로세서 헤드는 장치 상단에 장착되며 실리콘 웨이퍼 (silicone wafer) 가 배치되는 위치입니다. 2 개의 독립 헤드로 구성되며, 이 헤드는 프로세서 챔버에 웨이퍼를 로드하고 언로드하는 데 사용됩니다. 프로세서 챔버 (Processor Chamber) 는 스펙트럼 300 (Spectrum 300) 을 경쟁 제품과 달리 설정하는 것으로, 가장 안정적이고 정확한 처리를 보장하기 위해 여러 가지 설계 혁신이 특징입니다. 프로세서 챔버 (processor chamber) 에는 photoresist 처리 주기의 각 단계의 안전하고 효율적인 완성을 보장하기 위해 필요한 모든 요소가 포함되어 있습니다. 여기에는 완전 자동화된 저항 제거 도구 (Resist Removal Tool) 가 포함되어 있어 운영자는 최소한의 노력으로 여러 개의 연속 저항 프로세스를 쉽게 설정하고 실행할 수 있습니다. 에셋에는 또한 저항 처리 중 챔버에서 휘발성 유기 화합물 (VOC) 을 배출 할 수있는 강력한 펌핑 모델이 포함되어 있습니다. 장비는 제어판에 있는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 제어됩니다. 이 패널은 운영자가 시스템의 모든 매개변수 (parameter) 에 액세스하고 모든 프로세스 매개변수 (parameter) 를 실시간으로 모니터링할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 운영자는 원하는 결과를 얻기 위해 필요한 모든 프로세스 조정 (process adjustment) 을 쉽게 추적할 수 있습니다. SEMITOOL Spectrum 300 (SEMITOOL Spectrum 300) 은 최고 수준의 안정성과 성능을 보장하도록 설계 및 테스트되었으며, 다양한 photoresist 처리 응용 프로그램에 사용하도록 인증되었습니다. 독보적인 열 가열 장치 (Thermal Heating Unit) 와 정밀 장치 (Precision Device) 는 각 개별 프로세스 단계의 신뢰성을 보장하여 사용자는 매번 신뢰할 수 있는 실리콘 웨이퍼 처리 결과에 의존할 수 있습니다.