판매용 중고 SEMITOOL Sirius #9229812

세미툴 시리우스 (SEMITOOL Sirius) 는 가장 도전적인 반도체 장치 제작 공정의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 포토 esist 장비입니다. 탁월한 성능, 정확성, 사용 편의성을 제공하도록 설계된 자동화된 전체 기능의 시스템입니다. 시리우스 (Sirius) 는 photoresist coater와 development and surface conditioning unit의 두 가지 요소로 구성됩니다. 포토리스 스트 코터 (photoresist coater) 는 고속 분사 과정을 통해 웨이퍼에 균일하고 재현 가능한 습막 두께 처리를 제공합니다. 컴퓨터에는 여러 개의 디스펜스 헤드 (Dispense Head) 가 장착되어 있어 사용자의 요구에 가장 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다. 독자적인 가스 압력 제어 도구를 사용하며, 사전 청소 (pre-cleaning) 및 사후 청소 (post-clean) 작업 모두에서 정확한 일관성, 두께 및 필름 균일성을 제공합니다. 개발 및 표면 조절 자산에는 4 개의 독점 특허 처리 모듈이 있습니다. 개발 프로세스를 완벽하게 제어하는 이중 탱크 포토레스 (photoresist) 개발자가 있습니다. 이 모델에는 거품 제거 (bubble-removal) 동요와 일관성 있고 균일 한 필름의 생산을 보장하는 린싱 모듈이 있습니다. 이 장비는 표면 조절 모듈 (surface conditioning module) 과 결합하여 고품질 정밀 장치 생산을 위한 통합 솔루션을 제공합니다. SEMITOOL Sirius는 고품질 포토레스 필름 제작을위한 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 빠르고 정확한 처리 시간을 통해 칩 제조업체는 사이클 시간 (cycle time) 을 줄여 안정적인 장치를 만들 수 있습니다. 통합 제어 시스템 (Integrated Control System) 은 처리 중 웨이퍼의 표면 지형을 더 잘 제어합니다. 또한 단일 작업으로 여러 코팅 재료를 관리할 수 있으며, 포괄적인 프로세스 검증, 문제 해결, 데이터 로그 관리 툴을 제공합니다 (영문). 전반적으로, 시리우스 (Sirius) 는 광범위한 최첨단 반도체 장치 제작 프로세스에 이상적인 포토 esist 기계입니다. 고품질 포토레스 필름 제작에 탁월한 균일성, 정확성 및 신뢰성을 제공합니다. 통합된 모듈과 컨트롤을 통해 정확하고, 반복적으로 처리할 수 있으며, 제조 과정에서 시간과 비용을 절감할 수 있습니다.