판매용 중고 SEMITOOL Sirius #9192672

SEMITOOL Sirius는 반도체 리소그래피를위한 고급 기술을 제공하기 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 반도체 소자 제작에서 박막 (박막) 층을 처리하기 위한 특수 기계이다. 시리우스 (Sirius) 시스템의 독특한 디자인과 초미세 엔지니어링 (Ultra Afine Engineering) 을 통해 포토리스 처리 분야에서 우수한 품질과 최대 효율성을 제공 할 수 있습니다. 이 장치에는 여러 Fabrication 라인을 위한 완전 통합 MPW (Multi-Project Wafer) 플랫폼을 포함한 모든 필수 구성 요소가 장착되어 있습니다. 최대 25mm 직경, 6mm 두께의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 포토리스트 (photoresist) 를 웨이퍼에 정확하고 균일하게 적용하기위한 스핀 (spin) 및 스프레이 (spray) 옵션을 포함하도록 구성되었다. 이 도구는 새롭고 향상된 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공하도록 설계되었으며, 여러 사용자 친화적 디스플레이 (display) 를 통해 쉽게 탐색하고 효율적으로 사용할 수 있습니다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 통해 향상된 진단, 모니터링, 제어 기능을 제공하므로 자산 내에서 프로세스 매개변수를 자동으로 모니터링할 수 있습니다. 자동 기판 인식 (Automatic Substrate Recognition) 및 모델 기능에 대한 자동 제어 (Automated Control of Model Function) 도 사용할 수 있습니다. 또한 SEMITOOL 시리우스 (SEMITOOL Sirius) 는 안전성을 염두에 두고 설계되었으며, 자동 환기, 인터 록, 공기 난류 센서와 같은 내장 안전 기능을 갖추고 있어 적절하고 안전한 작동을 보장합니다. 이 장비에는 포괄적인 판매 후 서비스 (After-Sales Services) 패키지가 포함되어 있어 시스템 유지 보수 및 지원을 신속하고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 시리우스 포토 esist 장치 (Sirius photoresist unit) 는 전문 실험실과 사내 전자 제품 제작에 이상적이며, 고급 기능은 최고 수준의 포토 esist 처리를 최대한의 효율성으로 보장합니다. 이 기계는 사용자 친화적 인 디자인과 첨단 기술 (Advanced Technology) 을 통해 고급 포토레지스트 프로세싱의 벤치 마크를 설정했습니다.