판매용 중고 SEMITOOL Sirius #293671310

SEMITOOL Sirius Photoresist Processing Equipment는 microelectronic 장치 제조를 위해 photoresist 처리를 최적화하도록 설계된 안정적이고 효율적인 플랫폼입니다. 시리우스 (Sirius) 는 특허를 획득한 기술을 채택한 독보적이고 혁신적인 설계로, 각 주기에 정확한 처리 결과를 제공합니다. 이 독립형 또는 통합형 모듈식 플랫폼에는 2 개의 독립 트랙 모듈, 다양한 프로세스 선박을 수용할 수 있는 오픈 프레임 (Open-Frame) 설계의 모듈, 다양한 독립 프로세스 모듈 (Independent Process Module) 이 포함된 효율적인 통합 플랫폼이 포함됩니다. SEMITOOL Sirius 플랫폼에는 Developer Module과 Stripper Module의 두 가지 기본 모듈이 있습니다. 개발자 모듈 (Developer Module) 은 스핀 코팅 노출 포토 esist 레이어, 포토 esist 개발 및 펄스 전 노출과 같은 프로세스로 구성됩니다. Stripper Module은 습식 스트리핑, 드라이 스트리핑 및 ashing과 같은 프로세스로 구성됩니다. 이 모듈은 운영자가 프로세스 매개변수를 모니터링하고 보고서를 생성할 수 있는 수동 (manual) 및 자동 (automated) 프로세스 제어 시스템을 모두 갖추고 있습니다. 이 모듈에는 화학적 노출의 위험으로부터 보호하는 안전 (safety) 기능도 장착되어 있습니다. Sirius Photoresist Processing System은 고정밀 프로세스 결과와 뛰어난 정확도를 제공합니다. 이 장치는 입자 오염을 최소화하고 공정 챔버 내에서 열 교환을 방지하는 듀얼 루프 (dual-roof) 디자인으로 제작되었습니다. 공정 온도는 20 ~ 70 ° C 사이에서 조정할 수 있으며, 기계는 프로세스 압력을 +/- 0.5 바 내에서 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 SEMITOOL Sirius (SEMITOOL Sirius) 를 사용하면 레이어 재료 및 응용 프로그램에 관계없이 프로세스 레시피를 사용자 정의하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 애싱 (ashing), 에칭 (etching), 플라즈마 노출 (plasma exposure), 개발 후 제거 (post-development removal) 와 같은 다양한 후처리 기술을 통합할 수 있습니다. 시리우스 (Sirius) 는 포토 esist 처리에서 프로세스 효율성과 품질 보증을 모두 제공하도록 설계되었습니다. 듀얼 루프 디자인, 통합 안전 기능, 레시피 커스터마이징 기능, 프로세스 매개변수 조작 등으로 인해 에셋은 모두 포토레지스트 (photoresist) 처리를 위한 안정적이고 비용 효율적인 플랫폼이 됩니다.