판매용 중고 SEMITOOL Sirius #293671306
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세미 톨 시리우스 (SEMITOOL Sirius) 는 포토 esist 처리의 정확성과 효율성을 향상시키기 위해 설계된 포괄적 인 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 반도체 산업의 맞춤형 포토레시스트 (photoresist) 요구를 충족하도록 설계되었으며, 이는 품질, 속도, 일관성을 위해 엄격한 사양을 준수해야합니다. 이 장치는 클로즈드 머신 (closed machine) 에서 개발, 처리 및 배송을 효율적으로 저항하며, 최대 4개의 재료를 분리하고, 개별 프로세스 요구 사항에 맞게 유연성을 제공합니다. 이 도구는 거의 모든 photolithographic 응용 프로그램에 대한 수동 또는 자동 설정으로 제공됩니다. 자산은 Sirius Processor, SEMITOOL Sirius Spinner 및 Sirius Chamber의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. SEMITOOL Sirius Processor는 최대 4 개의 레시피를 동시에 사용하여 포토 esist와 함께 웨이퍼 및/또는 기판을 분배하고 정확하게 코팅하는 자동 절차입니다. 이 고속 로터리 (high-speed rotary) 모델은 포토레시스트가 웨이퍼에 적용되고 균등하게 퍼지도록 합니다. 이는 최종 제품의 품질과 정확성을 보장하기 위해 필요합니다. 한편 시리우스 스피너 (Sirius Spinner) 는 4 단계 스프레이주기를 통해 최대 72 개의 웨이퍼를 실행하는 멀티 스테이지 브러싱 장치입니다. 스테이지 변형 제트 (stage-variation jet) 는 필요한 석판 레이어를 생성하기 위해 포토리스트 (photoresist) 를 웨이퍼에서 청소하고 스트립합니다. 세미 툴 시리우스 챔버 (SEMITOOL Sirius Chamber) 는 포토 esist 적용을위한 최적의 치료 조건을 제공하는 특수 설계 된 원자로 챔버 (Reactor Chamber) 로, 저항이 반도체 산업 응용 프로그램의 타이트한 작동 매개변수 내에서 안정적으로 유지되도록 보장합니다. 시리우스 포토레시스트 (Sirius photoresist) 장비는 수동 또는 자동 생산용 포토레스 처리 (photoresist processing) 와 관련된 비용과 시간을 줄이기 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 뛰어난 반복성, 정확성, 신뢰성을 제공하는데, 이는 고성능 요구 사항이 있는 제품에 필요합니다. SEMITOOL Sirius 장치는 또한 작은 설치 공간으로 설계되었으며, 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이합니다. 시리우스 머신 (Sirius machine) 에 의해 가능한 정확한 포토레스 처리 (photoresist processing) 는 박막 트랜지스터, 고전압 고속 스위칭, 통합 수동 및 활성 구성 요소와 같은 광범위한 반도체 응용 분야에 적합합니다. 특정한 사진 해설이 필요한 것이 무엇이든, SEMITOOL Sirius photoresist tool은 다양한 응용 분야에서 신뢰할 수 있고 반복 가능한 photoresist 처리를 제공하도록 설계되었습니다.
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