판매용 중고 SEMITOOL Sirius #293671304

SEMITOOL Sirius
ID: 293671304
빈티지: 2005
System 2005 vintage.
SEMITOOL Sirius는 최첨단 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 구성 요소 생산에 사용되는 중요한 사진 분석 프로세스를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 AE (Auto Expose), AD (Auto Development) 스테이션 및 PS (Photoresist Strip) 스테이션을 포함한 프로세스 제품군이 있으며 정교한 마이크로 전자 구성 요소를 생산하는 데 필요한 모든 구성 요소가 있습니다. "AE '방송국 은" 포토리스토그래피' 과정 에서 중요 한 역할 을 하는데, 이 과정 에서 "실리콘 웨이퍼 '나 다른 물질 기판 에" 포토레시스트' (수지) 를 입힌 다음 가시 광선 에 노출 시킨다. AE 스테이션은 강렬하고, 심지어 최소한의 왜곡과 웨이퍼 린 (wafer lean) 을 가진 조명 수준으로 포토 esist를 정확하게 노출하도록 설계되었습니다. 그런 다음 AD 스테이션 (AD Station) 은 노출 된 포토레지스트를 자동으로 개발하여 조사 된 컴포넌트를 제거하고 회로 패턴을 기판에 에칭합니다. 수동 프로세싱과 달리, AD 스테이션은 안전성과 효율성을 높여 매우 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 마지막으로, PS 스테이션은 나머지 포토 리스트 (photoresist) 를 기판에서 벗겨 내고 에칭 된 회로 패턴을 남깁니다. 이 단계는 부드러운 마무리를 제공하고 기판을 추가로 처리할 수 있도록 합니다. 시리우스 (Sirius) 는 비용 절감 효과를 최적화하면서 빠른 주기 시간으로 생산 효율성을 높이도록 설계되었습니다. 또한 직관적인 컨트롤과 자동화된 작동 머신을 제공하여 장치 작동을 단순화합니다. 사용자 정의를 강화하기 위해, 사용자는 타사 소프트웨어를 맞춤형 photolithography 솔루션의 도구에 통합할 수 있습니다. 세미툴 시리우스 (SEMITOOL Sirius) 는 사진 해설을 진행하는 동안 결과의 균일성과 품질을 보장하기 위해 여러 가지 고급 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 기판 표면 불규칙성을 감지하고 보상하기위한 자동 초점 기능, 이미징 결과를 최적화하는 자동 교정 도구 (auto-calibration tool), 포토리스트 (photoresist) 처리를 능률화하는 여러 가지 자주 사용되는 기능이 포함됩니다. 안전성을 강화하기 위해 자산에는 비상 정지 기능 (Emergency Stop Function) 이 포함되어 있는데, 이 기능을 사용하여 모델을 신속하게 중지하고 운영자 오류로 인한 위험 (Potential Hazard) 을 줄일 수 있습니다. 시리우스 (Sirius) 는 생산 공정에 최신의 정확한 포토 리토그래피 (photolithography) 도구가 필요한 제조업체에 이상적인 선택입니다. 견고한 설계/자동화 기능을 통해 다운타임을 최소화하면서 정확하고 균일하게 처리할 수 있습니다.
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