판매용 중고 SEMITOOL Sirius #293622591
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ID: 293622591
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
System, 12"
Rotor, 8"
Stainless steel 316
Process: Spray ozone
Ammonia process modules
ASTEX AX8400 Ozone generator system
BMT 930 Ozone monitor
Ammonia tank
Mix control
Standard pneumatic panel
DI Panel
O2 Panel
NH4OH Panel
Motor
Control
TREBOR Quantum 30 Hot DI system
Voltage: 380 VAC, 45 Amp
Power supply: 50/60 Hz, 208 VAC
Full load current: 45 AMP
Largest motor or load :20 Amp
2008 vintage.
SEMITOOL Sirius는 SEMITOOL에서 제조 한 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. 반도체 산업의 고급 포토 리토 그래피 응용 분야를 위해 개발되었습니다. 이 시스템은 레이저 활성화 스캐닝, 무접촉 레지스트 스트립, 자동 웨이퍼 처리, 간편한 사용자 인터페이스 등의 고성능 기능을 제공합니다. Sirius 장치는 최고 수준의 웨이퍼 표면 사전 처리를 달성하도록 설계되었습니다. 그것은 기판 표면에 포토 에스트 (photoresist) 의 정확한 증착을 가능하게하고 마이크로 리토 그래피 (micro-lithography) 처리에 적합한 표면 균일성을 유지합니다. 이 기계는 단일 챔버, 프로세서 헤드 및 DC 전원으로 구성됩니다. 처리 헤드에는 다이제트 (dyejet) 가 장착되어 있으며, 증착 전에 포토 esist를 웨이퍼 표면에 전달합니다. "디이젯 '도구 는 조작 장치 에 장착 되어 있으며," 프로그램' 된 지시 사항 에 따라 "웨이퍼 '의 표면 을 무늬 로 만들기 위해 계획 되어 있다. SEMITOOL Sirius는 마이크로 리토그래피 (micro-lithography) 프로세스의 정확성과 안정적인 성능을 보장하기 위해 통합 자동 직선 기술을 갖추고 있습니다. 레이저 유도 스캐닝 에셋을 사용하여 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 와 관련하여 스캐너 헤드의 각도와 정렬을 정확하게 조정합니다. 시리우스 (Sirius) 는 또한 비접촉 저항 스트립 (resist strip) 기능을 제공하여 스트립 프로세스를 훨씬 잘 제어하고 수동 처리가 필요하지 않습니다. SEMITOOL Sirius 모델에는 사용자 친화적 인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있으며 표준 소프트웨어 패키지와 완벽하게 호환됩니다. 모듈식으로 설계되었으며, 필요할 때 추가 기능 및 부품으로 업그레이드할 수 있습니다. 이 장비는 자체 테스트 기능과 진단 시스템 (Diagnostic System) 을 갖추고 있어 안정적인 포토 esist 증착을 보장합니다. 시리우스 장치 (Sirius unit) 는 고해상도 및 프로세스 정확성과 반복성을 제공하는 고급 사진 분석 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 기계는 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적이며, 반도체 업계 응용프로그램에 적합한 제품입니다.
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