판매용 중고 SEMITOOL Sirius #293590463

SEMITOOL Sirius는 SEMITOOL Corporation에서 제조 한 차세대 포토리스 시스템입니다. 고품질 photolithographic 생산을 위해 설계된 완전 자동화 된 단일 기판 photoresist 시스템입니다. 시리우스 (Sirius) 는 4 가지 주요 구성 요소 (전동 저항 전달 암, 통합 기판 취급 로봇, 고급 스프레이 분배 헤드 및 사용자 친화적 인 대형 컨트롤 패널) 로 구성됩니다. SEMITOOL Sirius는 단면 및 양면 웨이퍼 기판과 플랜지 스타일 기판을 모두 처리 할 수 있습니다. 전동식 저항 배달부 (motorized resist delivery arm) 는 포토 esist를 기판에 전달하는 데 도움이됩니다. "로봇 '암 은 정확 하고 균일 한 전달 을 보장 해 주며, 팔 속도 를 조정 하여 정밀 함 을 보장 해 준다. 통합 (Integrated) 로봇은 기판 처리를 돕고 기판 트레이의 자동 로드 및 언로드를 허용합니다. 그것 은 또한 자동 "나이프 '배치 와" 리프팅' 을 허용 하여 "포토레시스트 '의 방향 을 올바로 정하고 기판 위 에 올려 놓는다. 고급 스프레이 분배 헤드는 정확하고 포토 esist 분배를 허용합니다. 그 "노즐 '의 설계 와 작용 은 또한 공정 중 에 흘려지는" 포토레지스트' 의 양 을 줄이는 데 도움 이 된다. 머리 는 기판 에 증착 된 "포토레지스트 '의 양 과 방향 을 정확 하게 조절 할 수 있다. 사용자 친화적 제어판 (Control Panel) 은 작동이 쉽고 사용자가 신속하게 프로세스를 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 제어판 (Control Panel) 은 자동/수동 작동을 위해 설계되었으며 화면상의 그래프/배율 조정, 경고 표시 (Display Alarm) 및 완전하게 자동화된 프로세스 제어 기능에 액세스할 수 있습니다. 궁극적으로 시리우스 (Sirius) 는 제조업체가 가장 효율적인 방법으로 고품질 광석기 제작을 제공하도록 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 시스템입니다. 내장형 "로봇 '과 디스펜스 헤드 (Dispense Head) 는 기판에 포토레지스트 (photoresist) 를 일관되고 정확하게 전달하는 반면, 컨트롤 패널은 프로세스를 쉽고 빠르게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. SEMITOOL Sirius는 제조업체를위한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 포토 esist 솔루션입니다.