판매용 중고 SEMITOOL Semitool 860 #9124362

SEMITOOL Semitool 860은 사용자가 쉽게 고급 photoresist 패턴을 만들 수 있도록 설계된 전용 photoresist 장비입니다. 이 제품은 여러 가지 구성 요소로 구성되어 있으며, 이 구성요소를 통합하여 '제조' 를 위해 전자 기기를 만들고 최적화할 수 있는 플랫폼을 제공합니다. Semitool 860의 주요 구성 요소는 독점 옵토 전자 스캐너 (OE-1) 입니다. 이 스캐너는 사용자 정의 photoresist 패턴을 높은 정확도와 일관성으로 스캔하도록 프로그래밍되고 최적화되었습니다. 이 제품은 2 개의 레이저 빔을 포함하여 고급 광학을 사용합니다. 하나는 포토 esist 재료에 필요한 UV 패턴을 만드는 데 사용되며, 다른 하나는 원하는 패턴을 만들기 위해 각 개별 레이저 펄스 (laser pulse) 의 제어를 만드는 데 사용됩니다. 레이저 펄스는 다른 포토 esist 유형에 맞게 미세 튜닝 될 수 있습니다. SEMITOOL Semitool 860의 노출 테이블은 노출 과정에서 높은 균일성과 최소한의 왜곡을 보장하도록 설계되었습니다. 공기 베어링 시스템 (air-bearing system) 은 포토 esist 패턴이 UV 소스에 정확하게 노출되어 잘 정의 된 노출이 발생하는지 확인합니다. 또한, 이 표는 사용자가 제어하고, 처짐이 없고, 스트레스가 적은 정렬 프로세스를 가능하게 하는 반면, 디지털 제어 gantry는 정확한 패턴 크기 제어를 제공합니다. 세미툴 860 (Semitool 860) 에는 포토리스 (photoresist) 패턴과 프로세스를 최적화하는 데 사용할 수있는 일련의 고급 소프트웨어 도구가 장착되어 있습니다. 여기에는 CAD 라이브러리 (CAD library), 표준 모양 가져오기, 패턴 인식 알고리즘 (photoresist pattern) 을 인식할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어를 사용하여 노출 프로세스를 대화식으로 제어할 수 있으며, 사용자는 광학 단위 (optical unit) 설정을 조정할 수 있으며, 이 소프트웨어는 기하학적 영역 (geometric area), 피크 강도 (peak intensity), 서피스 거칠기 (surface roughness) 와 같은 다양한 메트릭을 제공합니다. 또한, 기지국 (Base Station) 이 포함되어 있어 최고의 품질을 유지하기 위해 몇 가지 프로그래밍 가능한 안전 및 자동화 설정을 제공합니다. 여기에는 UV 노출 수준, 기판 온도 제어 및 자동 웨이퍼 처리에 대한 실시간 모니터링이 포함됩니다. "스테이션 '을 사용 하여" 레이저' 출력 을 모니터링 하고 조정 하여 최적 의 "포토레지스트 '패턴 을 생산 하도록 할 수 도 있다. SEMITOOL Semitool 860은 효율적이고 고급 포토레지스트 패턴 생성 프로세스를 제공하는 강력하고, 사용자에게 친숙한 도구입니다. 아트성분과 소프트웨어의 상태 (State of the Art components and Software) 는 높은 정확성과 신뢰성을 보장하며, 기능과 기능의 배열을 통해 가장 복잡한 포토레시스트 (photoresist) 패턴을 쉽게 만들 수 있습니다.