판매용 중고 SEMITOOL SD 101 #9185181

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SEMITOOL SD 101
판매
ID: 9185181
웨이퍼 크기: 6"
Spin rinse dryer, 6".
SEMITOOL SD 101 (SEMITOOL SD 101) 은 다양한 웨이퍼 처리 응용 프로그램에서 효과적이고 신뢰할 수있는 결과를 제공하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 자동 웨이퍼 처리 시스템은 정밀 사진 촬영, 스핀 코팅, 사전 청소 등 다양한 기술을 사용하여 배치 내 웨이퍼에 포토 esist, etch 또는 clean resist를 적용합니다. 태양광, 디지털 집적 회로, 박막 헤드, MEMS 분야의 반도체 부품 제조업체에 적합합니다. SD 101은 가동 중지 시간을 최소화하고 서비스를 단순화하는 유연한 분할 모듈 설계를 갖추고 있습니다. 맞춤형 스테인리스 스틸 (Stainless-Steel), 안노다이즈 (Anodized) 알루미늄 캐비닛으로 묶여 있으며 고성능, 안정성 및 견고한 최신 구조를 제공하는 통합 디자인이 있습니다. 이 장치에는 회전식 스핀 코터, 사전 청소 및 에칭을위한 액체 화학 물질 탱크, 저항을 치료하기위한 베이크 오븐 (bake oven) 이 포함됩니다. 또한 컴퓨터의 다양한 기능과 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 제어하기 위한 프로그래밍 가능한 컨트롤러도 갖추고 있습니다. 이 도구는 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 사용자 친화적인 자동 메뉴 제어 (menu-driven) 에셋을 통해 유지 관리 및 사용이 간편합니다. 이 모델에는 비상 정지 버튼, E-스톱 (E-stop), 과부하 방지 (overload protection) 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 장비 는 직경 이 최대 6 "인치 '인" 웨이퍼' 위 에 정밀 하고 신속 한 광사진 을 적용 하도록 설계 되었다. 통합 동적 압력 제어 시스템 (Dynamic Pressure Control System) 을 사용하여 일관된 두께와 완벽한 균일 한 저항 프로파일을 보장합니다. 이 장치는 각 유형의 웨이퍼 (wafer) 및 각 응용 프로그램에 대해 최적의 저항 프로파일을 활성화합니다. SEMITOOL SD 101은 태양 광 부품, 디지털 집적 회로 장치, 박막 헤드 등을 제조하기위한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 모든 제조 환경에 적합한, 잘 설계되고 신뢰할 수 있는 도구입니다.
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