판매용 중고 SEMITOOL Scepter #293831473

SEMITOOL Scepter는 반도체 산업의 응용 분야를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 자외선 (UV) 방사선에 저항하는 물질 인 포토 esist의 박막 증착에 사용됩니다. 이것은 높은 처리량 습식 x-ray 또는 전자 빔 직접 쓰기 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 장치입니다. 스셉터 (Scepter) 는 열 안정성, 균일성 및 입자 제어에 중점을 둔 최고 품질의 재료로 설계되었습니다. 여기에는 각각 독립적 인 온도 조절 (temper control) 을 가진 3 개의 탱크가 포함되어 있어 원자로 온도를 면밀히 모니터링 및 제어 할 수 있습니다. SEMITOOL Scepter에는 또한 아웃게싱을 줄이고 균일 성을 증진 할 수있는 진공 기계가 있습니다. Scepter의 장점은 빠른 펌프 사이클 시간, 조절 가능한 트랙 게이지, 웨이퍼 가장자리를 따라 균일성을 촉진하기위한 재순환 리프트 키트, 에지 무결성 (Edge Integrity) 개선을위한 덮개 도구 및 8 레벨 디지털 파워 컨트롤과 같은 독특한 기능에서 비롯됩니다. SEMITOOL Scepter는 증착 된 레이어의 품질을 향상시켜 최대 15 미크론/초의 증착 속도와 6 인치 웨이퍼에서 +/- 4 미크론의 균일 성을 허용합니다. 또한, 전통적인 포토 마스크 (photomask) 와 작동하며 최대 0.6 미크론의 해상도를 가지며 0.5-2.0 미크론 두께에서 광저항 레이어를 생성합니다. 이 자산은 또한 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 부품으로 제조되어 다양한 포토리스 소재 (photoresist material) 에 적합합니다. 스셉터 (Scepter) 는 전 세계 많은 주요 패브에서 사용되며 포토리스 연주자 성능에 대한 새로운 표준을 설정했습니다. 통일성 (unifority) 과 증착률 (deposition rate) 의 탁월한 일관성을 제공하며 다양한 마스크로 작업할 수 있습니다. 이 모델은 또한 빠른 주기 시간 (cycle time) 과 손쉬운 유지 관리 액세스를 제공하여 다양한 유형의 포토레지스트 증착 (photoresist deposition) 프로세스에 이상적입니다.