판매용 중고 SEMITOOL Scepter SAT 422 (25 04) 0 #9379203
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SEMITOOL Scepter SAT 422 (25 04) 0은 웨이퍼 및 기판에 다양한 재료의 정확한 증착을 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 정교한 모션 컨트롤 소프트웨어와 함께 고급 포토레스 (photoresist) 기술을 사용하여 얇은 필름을 웨이퍼 표면에 정확하게 배치합니다. 기계 에는 고해상도 "쿼츠 '광학 투사 장치 가 장착 되어 있어" 웨이퍼' 표면 에 증착 "마스크 '를 정확 하게 정렬 한다. 옵티컬 머신에는 고정밀 옵틱, 조절 가능한 명암과 밝기, 균일성 향상을 위한 Crystal Quartz 단파 UV 램프가 있습니다. 이 도구는 와퍼 (wafer) 양쪽의 정확한 증착을 보장하기 위해 정렬을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 증착 과정은 저항 코팅 및 단파 UV 램프를 사용하여 수행됩니다. 실험실에서 생성되고 웨이퍼에 적용된 저항성 코팅 (resistive coating) 은 절연체 (insulator) 역할을하여 전류가 웨이퍼를 통과하지 못하게합니다. "웨이퍼 '와 저항성" 코우팅' 에 초점 을 맞춘 "UV 램프 '는 저항성" 코우팅' 을 분해 시켜 그 전류 를 통과 시켜 "웨이퍼 '로 들어간다. 광저항 코팅 (photoresistive coating) 으로 알려진이 과정은 얇은 필름을 기판에 배치하는 빠르고 정확한 방법입니다. 에셋의 모션 컨트롤 (motion control) 소프트웨어는 단일 세션에서 여러 개의 씬 필름을 빠르고 정확하게 증착 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 연산자가 플래튼 전체를 스캔하거나 여러 개의 박막 (thin film) 을 증착할 영역을 선택할 수 있습니다. 그런 다음, 여러 증착 사이트를 선택하고 그에 따라 해당 저항을 조정할 수 있습니다. 저항이 제대로 설정되면 증착이 시작될 수 있습니다. 포토레시스트 (photoresist) 모델은 청소실, 실험실, 생산 환경 등 다양한 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 장비에는 증착 과정에서 발생하는 오류를 감지하고 분석할 수 있는 진단 시스템 (Diagnostic System) 도 내장되어 있습니다. 이 장치는 운영자와 장비 모두 안전성을 보장하기 위해 안전 연결 장치 (Safety Interlock) 를 내장하고 있습니다. 결론적으로, SEMITOOL Scepter SAT 422 (25 04) 0은 얇은 필름을 웨이퍼와 기판에 정확하고 신뢰할 수있는 증착을 제공하기 위해 설계된 고급 포토 esist 기계입니다. 이 도구에는 고해상도 쿼츠 광학 투영, 조절 가능한 명암과 밝기, 균일성 향상을 위한 Crystal Quartz 단파 UV 램프가 있습니다. 모션 제어 (Motion Control) 소프트웨어를 사용하면 다중 배치 사이트를 쉽게 선택할 수 있으며, 각 사이트에 대한 저항을 조정할 수 있습니다. 이 자산은 다양한 환경에서 작동하도록 설계되었으며, 운영자와 장비를 보호하기 위해 안전성 (Safety Interlock) 이 내장되어 있습니다.
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