판매용 중고 SEMITOOL SAT1080SOA1PCAU #9120981

SEMITOOL SAT1080SOA1PCAU는 고급 석판 공정의 요구 사항을 충족하도록 설계된 완전 자동 포토 esist 스핀 및 스프레이 코팅 장비입니다. 이 시스템은 스핀 속도, 정체 시간, 스프레이 시간, 스프레이 볼륨, 기판 온도의 정밀 자동 제어를 제공하여 최적의 재료 사용률과 우수한 기판 성능을 보장합니다. 이 단위는 직경이 4 ~ 12 인치 인 기질에서 코팅하기 위해 다양한 포토 레스트 (photoresist) 를 정확하게 측정할 수 있습니다. 360 회전 단계와 결합 된 동적 진공 공정 (dynamic vacuum process) 을 통해 분사 중에 기질이 완벽하게 정지 된 상태로 유지할 수 있습니다. 기계 는 "사이클 '사이 의 기판 에" 잔류' 가 남지 않도록 자동 청소 기능 을 갖추고 있다. 이 도구에는 독점적 인 가변 속도 AC 동기 모터가 있습니다. 모터는 가변 설정 (variable settings) 이 있는 디지털 제어에 의해 제어되며, 사용자는 스핀 속도를 500 ~ 4500 rpm에서 1 ~ 4 초로 설정할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 기판에 적용되는 회전 속도 (spin speed) 와 저항량 (resist) 을 정확하게 제어할 수 있습니다. 내장 스프레이 메커니즘은 분당 최대 6 밀리리터 (ml) 의 다양한 포토 리스트 (photoresist) 를 제공 할 수 있으며, 이를 통해 고급 석판 프로세스에 필요한 높은 처리량을 달성 할 수 있습니다. 에셋은 또한 분사 과정에서 기질의 균일 한 가열을 제공하는 일종 온도 제어 기능 (one-of-a-type temperature control function) 을 특징으로합니다. 이로써 물질 불일치를 일으킬 수있는 온도 차이가 없어지고, 공정 온도가 너무 높아집니다. 이 모델에는 스프레이 사이클 속도 (spray cycle rate), 스핀 속도 (spin speed), 스프레이 시간 (spray time), 스프레이 볼륨 (spray volume), 기판 온도 (기판 온도) 등의 설정을 사용자 정의할 수 있는 종합적인 소프트웨어 패키지가 제공됩니다. 이러한 설정은 파일에 저장하고 필요할 때 리콜할 수 있습니다. 이 장비에는 프로세스 상태를 나타내는 그래픽 디스플레이 (Graphical Display) 와 유지 관리 용 오류 코드 (Error Code) 가 포함되어 있습니다. 탁월한 성능을 위해 SAT1080SOA1PCAU는 정확하고 안정적인 포토 esist 스핀 및 스프레이 코팅이 필요한 석판화 실험실에 적합한 선택입니다. 이 시스템은 강력한 기능 세트 (feature set), 뛰어난 정확성, 손쉬운 작동 기능을 제공하여 고유한 요구 사항에 맞게 프로세스를 최적화하고 최적의 재료 사용량과 우수한 기판 성능을 보장합니다.